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晶圆加工工艺手册.docx

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    晶圆加工工艺手册

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、晶圆加工工艺总体概述与基础规范 3

    二、晶圆生产核心设备运行与维护标准 5

    三、晶圆前段制备工艺参数控制要求 9

    四、晶圆光刻工序质量管控技术规范 11

    五、晶圆蚀刻与掺杂工艺质量管控要点 14

    六、晶圆离子注入工序质量管控标准 16

    七、晶圆热处理工艺质量管控技术规范 20

    八、晶圆晶圆钝化与清洗工艺质量管控 23

    九、晶圆后段封装前工艺质量管控标准 29

    十、晶圆工艺过程在线检测与监测体系 32

    十一、晶圆工艺质量缺陷识别与处理规程 35

    十二、晶圆工艺质量检验判定

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