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6G通信材料：高端质谱仪赋能新型射频器件纯度检测的突破.docx

6G通信材料：高端质谱仪赋能新型射频器件纯度检测的突破.docx

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    6G通信材料：高端质谱仪赋能新型射频器件纯度检测的突破

    TOC\o1-3\h\z\u71306G通信材料：高端质谱仪赋能新型射频器件纯度检测的突破 3

    27838一、6G时代对射频器件材料纯度的严苛挑战 3

    276731.1高频段传输对材料杂质容忍度的极限压缩 3

    290261.2新型化合物半导体在射频应用中的关键指标 4

    2860二、传统检测技术在超痕量分析中的局限性 6

    260642.1常规光谱法在ppb级以下杂质的检测瓶颈 6

    120442.2现有工艺监控手段对复杂基体干扰的应对不足 7

    5199三、高端质谱仪

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