高纯溴化氢中杂质的检测 标准立项发展报告.docx

高纯溴化氢中杂质的检测标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:DetectionofImpuritiesinHigh-PurityHydrogenBromide

摘要

高纯溴化氢是半导体集成电路制造中关键的特种电子气体，其纯度直接影响芯片制造工艺的良率与可靠性。随着集成电路制程向更小线宽演进，对高纯溴化氢中痕量杂质含量的控制要求日趋严格，建立系统、准确、可操作的杂质检测标准已成为行业亟需。本标准（DB13/T6139-2025）针对高纯溴化氢中杂质检测的需求，规定了杂质检测的术语和定义、检测方法、仪器设备、样品处理、分析步骤及质