CN119935891A 监测系统及其监测方法、光学系统及其工作方法 （深圳镭赫技术有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119935891A

(43)申请公布日2025.05.06

(21)申请号202510424060.4

(22)申请日2025.04.07

(71)申请人深圳镭赫技术有限公司

地址518063广东省深圳市南山区粤海街

道高新区社区高新南九道10号深圳湾

科技生态园10栋503

(72)发明人何小凤李青格乐

飞利浦·肖恩·加斯塔尔多

(74)专利代理机构北京聿宏知识产权代理有限

公司11372

专利代理师吴大建杨娟

(51)Int.Cl.

G01N21/01(2006.01)

G01N21/95(2006.01)

H01L