CN119932698A 一种单晶硅热场多区段动态协同加热控制方法及系统 (苏州晨晖智能设备有限公司).pdfVIP

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  • 2026-11-15 发布于重庆
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CN119932698A 一种单晶硅热场多区段动态协同加热控制方法及系统 (苏州晨晖智能设备有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119932698A

(43)申请公布日2025.05.06

(21)申请号202510415601.7

(22)申请日2025.04.03

(71)申请人苏州晨晖智能设备有限公司

地址215000江苏省苏州市工业园区金鸡

湖大道88号G3-2401

(72)发明人梁勇闫洪嘉张鹏

(74)专利代理机构苏州市中南伟业知识产权代

理事务所(普通合伙)32257

专利代理师李志鹏

(51)Int.Cl.

C30B15/20(2006.01)

C30B15/14(2006.01)

C30B29/06(2006.01)

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