CN119959269A 半导体测量系统及半导体测量方法 （无锡亘芯悦科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119959269A

(43)申请公布日2025.05.09

(21)申请号202510445680.6

(22)申请日2025.04.10

(71)申请人无锡亘芯悦科技有限公司

地址214000江苏省无锡市新吴区景贤路6

号中国物联网国际创新园H3-201

(72)发明人邵加强李波王猛周子恺

(74)专利代理机构华进联合专利商标代理有限

公司44224

专利代理师成亚婷

(51)Int.Cl.

G01N23/2251(2018.01)

H01L21/66(2006.01)

G01N21/84(2006.01)

G01N21/01(2006.01