离子束溅射薄膜压力传感器.pdfVIP

维普资讯 、／， 一 1 怠 春 毫 溅 奇 ]093年 6H 零 事 矗 第 2期 · 研制动态 · 离子束溅射薄膜压力传感器 (国—防—科———枝——大一学)(机———电—部———48一所)-iIlf‘0 国 ， ， 诲 侍 对比各种成膜技术制作 的传感器中，以高频溅射法者为摄佳．成 品有长期的稳定性能， ^ 毫 、 在零位时达 0．1×10。／10a水平．豫满足航天，兵器、原子能等尖端技术要求外，业 已广 控泛用于石油、化工、汽车等领域中． 高频溅射制作传感器的不足处是工艺控制参数多 (电压，靶距，气压等)，调节范围又 小，阻致难于保证成品质量，困此至今只有少数国家掌握它． 现介绍给读者的为离子束溅射