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显微、测量、微细加工技术与设备 ， ， !#$%#%’( !()*$(+(,- !#$%.)/$#)-%, 0 12*’+(,- 生物芯片扫描仪高速扫描台研究 陈兴俊，胡 松，姚汉民，刘业异 （中国科学院光电技术研究所，四川 成都 !#$#% ） 摘要：随着生物工程技术的不断发展，生物芯片的制作技术和检测技术越来越受到人们的关注。 简要介绍了生物芯片的概念及其应用、生物芯片检测仪的种类及国外的发展状况，着重阐述了 国内研制的激光共聚焦生物芯片扫描仪的高速二维扫描台，主要包括扫描台的结构、扫描原理、 技术要求和如何实现这些要求以及扫描台控制的实现问题等。最后简要介绍了目前国内生物芯 片检测仪的研究进展情况。 关键词：生物芯片；扫描仪；扫描台 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） 9$:)! , !8: !;::8 ’’ %;)’; !#$% ’ ()*++,+- (*-. + /,)0,1 ()*++.2 6=+ .53;?@5 ，A B/53 ，C,D E5;F.5 ，GHA C4;I. （ ， ， ， ） !#$%$$’ () *+ $%,# -. /0’,$1(%,# 23%’#’ 4 ,-.’56 () 7,%’,’# 23’8. 8!’% 23%- 3/(2*) ：91.J 2E24K L.KJMNI O.J0@JJ4J M14 0/5042M./5 E5O E22N.4EM./5 /L M14 -./01.2 ，M145 .5MK/; O@04J M14 0EM43/K.4J /L M14 -./01.2 ，L.5ENNI O.J0@JJ4J M14 J0E55.53 JME34 /L M14 NEJ4K 0/5L/0EN -./01.2 J0E554K ，.50N@O4J J0E55.53 2K.50.2N4 ，JMK@0M@K4 E5O .5O4P E5O 0/5MK/NN.53 /L M14 J0E55.53 JME34Q914 JM@OI MK45O /L -./01.2 J0E554K .5 1/F4 .J ENJ/ .5MK/O@04OQ 4.% 52$( ：-./01.2 ；J0E554K ；J0E55.53 JME34 研究工作主要集中在具有核酸序列分析功能的芯片 ! 引 言 的研究，故又被称作基因芯片 （ ）或 3454 01.2 生命科学是当今世界科技发展的最大热点之 芯片 （ ）。 *+, *+, 01.2 一，而人类基因组 （ ）计划又是生命科学研究 生物芯片制备成功后，如何检测它也是一个制 #$ 中的重中之重，该计划从 !%% 年正式实施，其目 约其快速发展的难点。生物芯片按标记种类可分为 标是在 年完成对 亿个人体基因组 碱 荧光染料、化学发光和放射性标记三种。目前大部 ’( ) *+, 基的序列测定。而要完成这项庞大的工程就必须要 分生物芯片采用荧光染料标记，对这类芯片的检测 建立一种新的技术来分析*+, 序列。因此，对生