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第一章第一章 緒論緒論 1
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1.1 1
研究背景與動機
1.2 文獻回顧2
1.3 4
研究內容
第二章第二章 理論模式理論模式 5
第二章第二章 理論模式理論模式
2.1 物理模型5
2.1.1 薄膜沈積原理5
2.1.2化學沈積反應機制 7
2.1.3 沉積速率8
………………………… ……………… … ……
2.1.4反應器腔
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