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磁控溅射生长aln钝化层的研究.pdfVIP

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  • 2017-09-23 发布于江西
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磁控溅射生长aln钝化层的研究.pdf

    第 7卷 第 1期 ( ) ol. 7, No. 1 2009年 3月 Journal ofNanjing Institute ofTechnology(NaturalScience Edition) M ar., 2009 : 1672- 2558( 2009) 01- 0031- 05 AlN 1, 2 2 陈国强 , 陈敦军 ( 1. 南京工程学院基础部, 江苏 南京, 211167; 2.南京大学物理学系, 江苏

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