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第六章 电子探针 材料成份分析的经典方法：化学分析方法 特点: 历史悠久，分析精度高，一个独立学科。 缺点： 样品需破坏，分析时间较长，不能进行微区分析。 材料成分分析的最常用方法：物理分析方法 特点： 1）非破坏的方法 2）绝大多数物理分析方法的分析区域很小 3）物理分析方法多为表面分析方法 4）分析速度快 5）灵敏度高，可测出痕量元素。 常用成分分析所用仪器 电子探针显微分析仪（EPMA） 离子探针分析仪（IMA或SIMS） X射线荧光探针仪（XRF） 俄歇能谱仪（AES） X射线光电子能谱仪（XPS） 1 电子探针 定义： 一种利用电子束作用样品后产生的特征X射线测试微区微量成分的仪器，由于激发X射线的电子束很细，宛若针状，因此常称电子探针。 原理： 用细聚焦电子束入射样品表面、激发出样品元素的特征X射线: 分析特征X射线的波长（或特征能量）即可知道样品中所含元素的种类(定性分析，准确). 分析 X射线的强度、则可知道样品中对应元素的多少(定量分析，相对精 度约为±1～5％)。 元素分析范围：从Mg12到U92元素 原理： 利用X射线照射样品，使之产生二次辐射，依据二次辐射的光谱，进行化学成分的定性(点、线、面分析)和定量分析。 特点： 1）样品来源广（块体，粉末，薄膜，泥浆，液体等）。 2）测试快速、准确、不损坏样品，不改变样品性质。 3）样品要一定的量（粉末样品约1克以上）。 4）样品表面需要较平坦。 5）有一定的放大倍率（100 X） 能谱仪和波谱仪的曲线比较 波谱仪 能谱仪 4 电子探针的分析方法和应用 电子探针有三种基本的工作方式： 1）对样品表面选定微区作定点的全谱扫描定性或半定量分 析，以及对其中所含元素浓度的定量分析。 2）电子束沿样品表面选定的直线轨迹作所含元素浓度的线扫 描分析。 3）电子束在样品表面作面扫描，以特定元素的X射线信号调制 阴极射线管荧光屏亮度，给出该元素浓度分布的扫描图像。 1.点分析 将电子束固定在要分析的某一点上，激发该点各元素的特征X射线，以确定该点的成分及其含量。 点分析的操作步骤： 首先利用电子探针上的光学显微镜或利用扫描电镜形成图像，并选定要分析的点，将电子束照射在该点上，利用波谱仪或能谱仪测量X射线的波长或能量及其强度，即可确定该点的成分及其含量。 波谱仪和能谱仪采样速度的比较 由于波谱仪采样需要改变分光晶体和探测器的位置，因此，即使采用多通道谱仪并配计算机自动检谱，也需要15min左右完成全谱定性分析工作。而能谱仪只需几分钟就可以直接从荧光屏上得到微区内全部元素的谱线。 ZrO2(Y2O3)陶瓷析出相与基体的定点分析 (图中数字为Y2O3 mol%) 固体氧化物型燃料电池(SOFC)双极板(阳极一侧)的组织、成分变化 Elem Wt % At % O K 10.77 29.61 CrK 34.24 28.97 MnK 4.02 3.22 NiK 50.97 38.20 Total 100.00 100.00 图中白色颗粒的成分 Elem Wt % At % O K 10.77 29.61 CrK 34.24 28.97 MnK 4.02 3.22 NiK 50.97 38.20 Total 100.00 100.00 双极板基体的成分 Specimen: Section of a metal EDS spectrum of area 2 2）线分析 将谱仪(波谱仪或能谱仪)固定在所要测量的某一元素特征X射线信号（波长或能量）的位置上，使电子束沿着指定的路径作直线轨迹扫描，便可得到这一元素沿该直线的浓度分布曲线。改变谱仪的位置，便可得到另一元素的浓度分布曲线。 BaF2晶界的线扫描分析(晶界有氧偏聚) Si光栅的线成分分布 镀层和基体之间的线成分分析 铬铁矿的线分析 化 学? 组 成： (Mg，Fe)Cr2O4，分比较复杂，广泛存在Cr2O3、Al2O3、Fe2O3、FeO、MgO五种基本组分的类质同象置换； 晶系和空间群： 等轴晶系，Fd3m； 晶 胞? 参 数： a0=8.325-8.344?； 粉 晶? 数 据： 2.52(1) 1.46(0.9) 1.6(0.9) Line scans for 6 elements Backscattered electron image of Chromite 3）面分析 电子束在样品表面作光栅扫描时，把X射线谱仪固定在接受某个元素特征