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互换性与技术测量课程实验 第一节 表面粗糙度测量实验 实验目的 了解用光切显微镜和手持式粗糙度仪测量表面粗糙度的原理和方法。 加深对表面粗糙度和微观不平度十点高度RZ的理解。 熟悉表面粗糙度RZ、Ra、Ｒt、Rq等参数并加强理解。 二、实验仪器及设备 1．光切显微镜；2．手持式粗糙度仪 三、实验内容 （一）用光切显微镜测量表面粗糙度RZ的值 微观不平度十点高RZ是指在取样长度内，5个最大的轮廓峰高平均值与5个最大的轮廓谷深平均值之和。图5—1为微观不平度十点高RZ的示意图，表面粗糙度参数RZ的计算公式如下， RZ = 式中： ypi—第i个最大的轮廓峰高 yvi—第i个最大的轮廓谷深 1．实验仪器介绍 光切显微镜主要用于测量表面粗糙度参数RZ，也可测量Ry。测量范围为RZ80~0.8um。 图5—2为9j型光切显微镜的外形图。底座６上装有立柱５，显微镜主体通过横臂2与立柱联结。转动升降螺母4可使横臂连同显微镜主体沿立柱上下移动，进行粗调焦，用紧定螺钉1将横臂固定在立柱上，手轮3可对显微镜进行微调焦。 2．实验测量原理 光切显微镜是利用光切原理来测量表面粗糙度的，如图5—3所示，被测表面为P1P2 阶梯表面，当一束平行光以45o方向投射至阶梯表面上时，就被折射成S1和S2两段，从垂直于光束的方向上就可在显微镜内看到S1和S2两段光带的放大像S和S。同样，S1和S2之间的距离h也被放大为S和S之间的距离h。通过测量与计算，可求得被测表面的阶梯高度h。图5—4为光切显微镜的光学系统图。由光源⑴发出的光经聚光镜⑵，狭缝⑶， 物镜⑷以45o方向投射到被测工件表面上。调整仪器使反射光束进入与投射光管垂直的观察光管内，经物镜⑸成像于目镜分划板G上，通过目镜可观察到凹凸不平的光带，如图5—5所示，光带边缘即工件表面上被照亮了的h1的放大轮廓像h，测量出h并通过计算即可求得被测表面的不平度高度h。 h = h1cos45o =cos45o 　 式中：N—为物镜放大倍数 为了测量和计算方便，测微目镜中十字线的移动方向（如图5—6）和被测量光带边缘h成45o斜角（图5—5所示），故目镜测微器刻度套筒上的读数值与不平度关系为 == 所以 2．光切显微镜实验操作（测量） 步骤 （1）按被测工件表面粗糙度要 求，从表1中选择合适的物镜 组，安装在燕尾导板9上； （2）接通电源； （3）擦净被测工件。把它安放在工作台上，并使被测表面的加工纹理方向与光带垂直； （4）调整升降螺母4进行粗调焦，再用微调手轮3进行微调，使视场中央出现最清晰的狭缝像和表面轮廓像； （5）松开目镜筒的螺钉转动测微目镜，使目镜中十字线的水平线与狭缝像平行后，将螺钉紧固； （6） 旋转目镜测微器的刻度套筒，使目镜十字线与光带轮廓某一边的峰或谷相切如图1—5所示。并从测微器读出被测表面的峰或谷的数值，依次类推。在取样长度范围内分别测出5个最大的峰的轮廓高和5个最大轮廓谷深的数值，然后计算出RZ的数值； （7）纵向移动工作台，在评定长度范围内，测出三个取样长度的RZ值，取它们的平均值作为被测表面的不平度平均高度，按下式计算。 RZ（平均）= （8）根据计算结果，判断被测表面粗糙度的适用性； （9）将该工件表面用相应加工方法的表面粗糙度样板做目测评定Ra值。 表1 物镜放大倍数N 总放大 倍数 视场直径（mm） 物镜工作距离（mm） 测量范围RZ（um） 7X 60X 2.5 17.8 10—80 14X 120X 1.3 6.8 3.2—10 30X 260X 0.6 1.6 1.6—6.3 60X 520X 0.3 0.65 0.8—3.2 3．目镜测微器分度值C的确定 （1）将玻璃标准刻度尺置于工作台上，调节显微镜焦距并移动标准刻度尺，使在目镜视场内能看到清晰的刻度尺刻线，如图5—7。 （2）参看图5—2松开螺钉，转动目镜测微器，使十字线交点运动方向与刻度尺平行然后紧固螺钉。 （3）按表2选定标准刻度线格数Z，将十字线交点移至与某条刻度线重合（如图5—7的实线位置），读出第一读数n1，然后将十字线交点移动Z格（如图5—7虚线位置），读出第二读数n2，两次的读数差为： A=│n1 —n2│ （4）计算测微器刻度套筒上一个刻度间距所代表的实际被侧值(即分度值C)。 C= 式中T—标准刻度尺的刻度