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Easy-Laser法兰平面度测量系统 Easy-Laser Flange Flatness Measurement System 塔筒法兰平面度和内倾度测量 法兰平行度测量 测量系统组成 D279主机（显示单元） D22旋转激光发射器 D5探测器（激光接收器） D46棱镜 三脚架 发射器调整底盘 磁吸座(带旋转头) 探杆 电缆 注：W402没有D46棱镜和三脚架 D279显示单元（主机） 数据显示和存储 将数据传送到PC和打印机上 D22激光发射器 发射红色激光 激光发射器侧面 D5激光探测器（激光接收器） PSD位置传感器接收 激光，并将激光信 号转换成电信号传 送到主机 为了得到最好的测量 结果,要保持仪器的 D46棱镜 三脚架 固定装置 磁吸座(带旋转头)：用于 固定激光探测器 探杆：用于激光探测器定 位 360º旋转头 转换固定螺孔 磁性开关 发射原理 阴极 激光发射（功率为1mW ） 阳极 100％反射镜 部分反射镜 激光发射器示意图 激光波段 激光波段 激光接收 PSD Position Sensitive Device （位置传感器） 光斑的移动导致硅片的电阻的变化 给硅片一定的电压，因电阻的变化  将导致电流的变化。 电流的变化，经A/D转换变成数字信 PSD I1  号 I 光斑越靠近中心区域。线性度越高 2 CCD 激光能量中心 激光能量中心 激光打在PSD之外 保证激光都能打到PSD之内 测量范围 由于激光具有发散性，故激光系统存在测量范围，Easy －Laser测量系统的最大测量半径为40m，因此能满足绝 大多数机械的微观测量 激光折射 在测量时应避免周围有明显的热源或冷风 平面度测量过程 仪器安装 粗调 清洁表面 保存数据 逐