纳米聚晶金刚石安全高效生产项目可行性研究报告建议书.docVIP

纳米聚晶金刚石安全高效生产技术 项目可行性研究报告 编 制 单 位 ： 中国科学院老专家技术中心 编制时间： 二零零九年七月 目 录第1章 项目概述 6 1.1 项目名称 6 1.2 项目背景 6 1.3 项目内容 7 1.4 项目产品特点及应用领域 7 1.4.1 项目产品特点 7 1.4.2 项目产品应用领域 8 1.5 投资必要性和预期经济效益 9 1.5.1 投资必要性 9 1.5.2 预期经济效益 9 1.6本企业实施该项目的优势 9 第2章 技术可行性分析 11 2.1 国内外发展现状 11 2.2 本项目技术的创新性 13 2.3 项目承担单位在实施本项目中的优势 17 第3章 项目成熟度 18 3.1 技术的可靠性 18 3.2 产品及性能 19 第4章 市场需求情况和风险分析 22 4.1 产品的应用前景 22 4.1.1 硅片加工应用方面 22 4.1.2 碳化硅晶片加工方面 23 4.1.3 巨磁阻磁头加工方面 24 4.1.4 切削加工方面 25 4.1.5 副产品——纳米单晶金刚石的应用 26 4.2 纳米聚晶金刚石主要生产单位情况 29 4.2.1 国外生产情况 29 4.2.2 国内生产情况 29 4.3 本项目产品在国内外市场的地位 29 4.3.1 超精细加工工艺路线发展趋势给本项目产品带来的机遇 29 4.3.2 与国际产品的竞争 32 4.3.3 市场预测 32 第5章 项目投资估算及资金筹措 33 5.1 项目投资估算 33 5.1.1 投资规模 33 5.1.2 主要设备概算 33 5.1.3 生产占地 33 5.1.4 生产人员 34 5.2 资金筹措方案 34 第6章 经济和社会效益分析 35 6.1 经济效益分析 35 6.1.1 产品成本分析 35 6.1.2 经济效益 36 6.2 项目盈亏平衡 36 6.3 社会效益 37 第8章 项目实施方案 40 8.1 项目开发计划 40 8.1.1 产能规划和实施的步骤 40 8.1.2 产品规划 40 8.2 项目实施内容 41 8.2.1 工艺流程 41 8.2.2 原辅材料来源及供应渠道 41 8.2.3 生产设备 41 8.2.4 建设周期 42 8.2.5 公用工程 42 第9章 项目安全与环保 43 9.1 项目的生产安全 43 9.1.1 生产安全标准 43 9.1.2 火工品的使用资格审批 43 9.1.3 火工品的使用与保管 43 9.2 项目的环保 44 9.2.1 噪声 44 9.2.2 废液和废气 44 第10章 结论与展望 46 第1章 项 目 概 述 1.1 项目名称 纳米聚晶金刚石安全高效生产技术 1.2 项目背景 金刚石是世界上最坚硬的物质，它有两种形态，一种是单晶金刚石，它具有无可比拟的硬度，但性脆、不耐冲击；另一种是聚晶金刚石，其外表呈灰黑色，被称作“Carbonado”，天然的“Carbonado”是一种名贵的聚晶金刚石，各向同性，质地非常致密坚韧，冲击韧性可达到单晶金刚石的10倍，工业使用价值极高。但聚晶金刚石蕴藏在地下数百公里的岩体里，只有火山喷发时才被带出地表，并且储量少、发现困难，价值昂贵，不能满足生产的需要。 由于以半导体工业为基础的微电子产业迅速发展，自80年代以来美国GE公司就看到了硅片精加工中所蕴涵的巨大商机和挑战，积极开展了静压法单晶金刚石在硅片加工应用方面的研究。但单晶金刚石沿解理面脆断形成的锋利刃口不可避免会划伤工件表面，而硅材料的微电子性能对表面轻度损伤又极端敏感。在这种背景下逐渐发展了另一种硅片加工工艺，即化学腐蚀抛光法。这一工艺对于小尺寸硅片发挥了良好的作用，现已成为硅片加工主流工艺。由于化学腐蚀抛光法无法保证硅片的整体平整度，随着硅片尺寸越来越大，精度要求越来越高，这种工艺已不能满足需要，这就为在硅片超精细加工中使用纳米聚晶金刚石微粉提供了契机。 由纳米聚晶金刚石微粉制成的磨具或研磨剂，可用于各种坚硬材料制品的精细加工和抛光，与单晶金刚石微粉相比，其加工效率高、表面光洁度高，显示了优异的性能。用纳米聚晶金刚石加工的芯片在计算机领域以及传统支柱产业（如汽车、航空工业）中有着广泛的应用前景。 爆炸合成聚晶金刚石已有30多年历史，但规模并不大。这是由于其本身存在一些未能克服的缺点，主要表现为：每公斤炸药产量不高；操作不够简便，难以规模化。为了改善这种供不应求的局面，中国科学院爆炸力学专家经过长期理论和时间研究对技术方案和工艺流程做了重大改进和更新，使纳米聚晶金刚石得以产业化生产。 1.3 项目内容 本项目引入中科院成熟技术，利用丰富的石墨资源，建成年产1000万克拉纳米聚晶金刚石