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黑龙江大学本科生 毕业论文(设计)档案 编码: 学院:电子工程学院 专业: 电子信息科学与技术 年级:2007 学生姓名: 贾斯琪 毕业论文题目:基于MATLAB的语音信号时频域参数分析 指导教师:张忠 装订日期:年 月 日 备注栏 摘要 关键词 纳米硅薄膜;纳米硅/单晶硅异质结;低压化学气相淀积 Abstract Keywords Nano-crystalline silicon;Nanocrystalline/Crystalline silicon heterojunction;LPCVD 目 录(黑体 小二) 摘要 I Abstract II (注:一级目录——黑体 小四; 二级目录——宋体 小四; 三级目录——宋体 小四 行间距——1.5倍行间距) 第一章 综 述 1 1.1 纳 1 1.2 纳 2 1.2.1 2 1.2.2 3 1.2.3 3 1.2.4 4 1.3 纳 4 1.4 本章小结 7 第二章 纳 8 2.1 纳 8 2.2 纳 9 2.3 本章小结 10 第三章 纳 11 3.1 纳 11 3.2 纳 11 3.3 纳 11 3.4 纳 12 3.5本章小结 14 第四章 纳 15 4.1 纳 15 4.2 纳 16 4.3 讨论 17 4.4 本章小结 18 结论 19 参考文献 21 致谢 24 1.2 纳米硅/单晶硅异质结的应用(黑体 小三) (正文 宋体 小四 1.5倍行间距) 1.2.1 在集成电路方面的应用(黑体 四号) (正文 宋体 小四 1.5倍行间距) 图标(黑体 五号) 1.2.2 在压力传感器方面的应用(黑体 四号) (正文 宋体 小四 1.5倍行间距) 1.2.3 在太阳能电池方面的应用(黑体 四号) (正文 宋体 小四 1.5倍行间距) 1.2.4 在发光器件方面的应用(黑体 四号) (正文 宋体 小四 1.5倍行间距) 1.3 纳米硅薄膜的研究现状及发展趋势(黑体 小三) (正文 宋体 小四 1.5倍行间距) 1.4 本章小结(黑体 小三) 本章主要对纳米硅/单晶硅异质结的国内外研究进展和最新成果进行了介绍,同时介绍了采用PECVD、LPCVD 第二章 纳米硅/单晶硅异质结的基本结构和制作工艺 (黑体 小二) 2.1 纳米硅/单晶硅异质结的基本结构(黑体 小三) (正文 宋体 小四 1.5倍行间距) 2.2 纳米硅/单晶硅异质结制作的工艺过程 (正文 宋体 小四 1.5倍行间距) 2.3 本章小结(黑体 小三) (正文 宋体 小四 1.5倍行间距) 第三章 纳米硅/单晶硅异质结特性(黑体 小二) 3.1 纳米硅3.2 纳米硅3.3 纳米硅/单晶硅异质结二极管I-V特性 (正文 宋体 小四 1.5倍行间距) 3.4 纳米硅/单晶硅异质结温度特性(黑体 小三) (正文 宋体 小四 1.5倍行间距) 3.5本章小结(黑体 小三) 本章主要叙述了采用HP4145B半导体参数测试仪测试纳米硅/单晶硅异质结的I-V特性曲线,并把纳米硅薄膜厚度不同的异质结样品的特性曲线进行了比较,最后简单介绍了其温度特性曲线。 第四章 纳米硅/单晶硅异质结实验结果与讨论 (黑体 小二) 4.1 纳米硅/单晶硅异质结I-V特性测试结果与分析(黑体 小三) (正文 宋体 小四 1.5倍行间距) (4-1) (注:公式采用公式编辑器编写) 4.4 本章小结(黑体 小三) 本章给出了制得的纳米硅薄膜厚度为30nm的纳米硅/单品硅异质结在常温、恒定自然光源下测得的I-V特性曲线并做了简单的分析。在温度从-20℃到40℃变化时,I-V特性曲线温度实验表明,I-V特性曲线并没有随温度发生非常明显的变化。本章对上述实验结果进行了分析。并给出了改进方案。 结论 (黑体 小二) 本文在综述国内外纳米硅/单晶硅研究现状的基础上,纳米硅/单晶硅异质结的结构制作特性进行了理论分析和实验研究。研究内容有: 设计给出了纳米硅/单晶硅异质结的基本结构及工艺过程。 参考文献(黑体 小二) [1] Park CH,Lee JY,Im S,etal.n-ZnO/p-Si photodiodes fabricated using ion-beam induced isolation technique[J].Nuclear Instruments and Methods in Physics Research.2003,(206):432-435. [2] Park CH,

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