柔性铰链工作台测量与控制设计论文论文.docVIP

第一章 绪论 5 1.1 国内外现状和发展趋势 5 1.2 柔性铰链研究意义 8 1.3 毕业设计任务 第二章 柔性铰链微动工作台测量与控制系统的总体设计 9 2.1 总体方案设计 2.2 柔性铰链单元工作原理 9 2.3 平行四杆微动工作台设计与分析 10 第三章 微动工作台测量系统设计 12 第四章 微动工作台控制系统设计 14 4.1传感器基本工作原理 14 4.2传感器转换电路 17 4.3 MCS-51单片机 19 4.4 18位AD7674 20 4.5 18位DAC9881 22 4.6 PID控制器 25 4.7 功率运算放大电路 28 4.8 压电陶瓷驱动器 29 31 5.1 主程序 31 5.2 A/D转换子程序 32 5.3 矩阵键盘输入子程序 34 5.4 显示子程序 35 5.5 数据运算子程序 36 5.6 D/A转换子程序 36 第五章 总结与展望 37 参考文献 38 致谢 39 摘 要 柔性铰链以其无摩擦、无间隙、运动灵活、敏度高的优点，在各个领域得到广泛应用，尤其在纳米技术领域中有着广泛的应用前景，柔性铰链是实现纳米级微运动的关键技术，其运动位移的测量与控制是实现纳米运动的核心技术。本次毕业设计采用柔性铰链机构和电容传感器，设计了一套微动工作台的测量与控制系统。用我们所学知识，使之成为一套精密测量系统，实现高效率，高精度，高稳定性，低误差的测量。在该系统中，由柔性铰链构成的平行四杆机构产生一个微位移量。而由于被测位移量为纳米级，从而采用电容式传感器进行测量。以单片机为核心对信号进行处理，并用键盘输入预定值并用LED数码管显示。为了更好地减小误差，提高系统的精度，运用PID算法结合压电陶瓷驱动来实现对该工作台的精密控制。运用解析法，从理论上分析了柔性铰链工作台的。。。。。。。。。描述了电容传感器的测量原理，设计了。。。。。。。最后，对PID。。。。。。。。 关键词：柔性铰链，电容式传感器，传感器处理电路，MCS-51单片机，压电陶瓷 Abstract Flexible hinge with its no friction, no clearance, sports flexible, the advantage of high sensitivity, widely used in various fields. Especially in the field of nanometer technology has a wide application prospect, flexible hinge nanoscale micro motion is to realize the key technology, their sports displacement measurement and control is to realize the core technology of the nanometer movement. This paper based on flexible hinge, design a set of budge workbench measurement and control systems. With our knowledge learnt, make it become a set of precision measuring system, realize high efficiency, high precision, high stability, low error of measurement. In this system, composed of by flexible hinge parallel four-bar produce a micro displacement quantity. And for being measured displacement, thus using nanoscale capacitive sensor measurements. Based on singlechip on signal processing, and displays the results LED digital tube. In order to reduce errors with good precision, and improve the system, using PID algorithm combined with piezoelectric driven to realize the precise control of workbench. The theoretical and exp