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年产 4000 吨三氯氢硅 工艺设计 2006 年 2 月 1 目录 1.1、三氯氢硅的物理性质 1.2、三氯氢硅的化学性质 1.3、三氯氢硅的毒性 2.0 、三氯氢硅的生产工艺描述 2.1 、氯化氢的合成与净化 2.2 、三氯氢硅粗品的合成 2.3 ．三氯氢硅的精馏 3.0、4000 吨/年三氯氢硅的工艺计算 3.1、4000 吨/年三氯氢硅的物料衡算: 3.2、4000 吨/年 (600Kg/h)三氯氢硅物料表 3.3、 三氯氢硅生产消耗表 3.4、主要设备估算: 3.4.1、氯化氢冷却器: 3.4.2、合成炉换热面积与直径, 3.4.3、旋风分离设备 3.4.3、旋风分离设备 3.4.4、热过滤器 3.4.5、粗品水冷却器 3.4.6、粗品冷凝器 3.4.7、精馏冷凝器 3.4.8、开工电加热器 2 3.4.9、制冷量 3.4.10、热水循环量 3.4.11、导热油循环量 3.4.12、硅粉干燥器 3.4.13、氮气加热器 3.4.14 、4000 吨/年三氯氢硅主要选型设备表 4.0 三氯氢硅生产三废治理 5、三氯氢硅生产的安全措施 6、三氯氢硅生产中的副产品利用 3 1.1 三氯氢硅的物理性质: 别名、英文名 硅氯仿、硅仿、三氯氢硅；Trichlorosilane、Silicochloroform． 分子量： 135.43 物理特性如下： 比重：1.35 沸点：31.8℃ 饱和蒸气压（14.5℃）53.33Kpa 闪点：－13.9℃（开杯） 自燃温度：175℃ 爆炸下限：6.9 ％，爆炸上限：70 ％ 溶解性：溶于苯、醚等有机溶剂， 三氯硅烷在常温常压下具有刺 激性恶臭气味，是易流动易挥发的无色透明液体。 1.2 三氯氢硅的化学性质: 在空气中极易燃烧，在-18 ℃以下也有着火的危险，遇明火则强烈 燃烧，燃烧时发出红色火焰和白色烟，生成SiO 、HCl和Cl 。化学 2 2 反应如下: SiHCl +O2→SiO +HCl+ Cl 3 2 2 三氯硅烷的蒸气能与空气形成浓度范围很宽的爆炸性混合气，受 热时引起猛烈的爆炸。它的热稳定性比二氯硅烷好，在 900℃时分 解产生氯化物有毒烟雾(HCl) ，还生成Cl2和Si 。遇潮气时发烟，与 水激烈反应。 4 2SiHCl +3H O—→ (HSiO) O+6HCl 3 2 2 在碱液中分在解放出氢气。 SiHCl +3NaOH+H O—→Si (OH) +3NaCl+H 3 2 4 2 与氧化性物质接触时产生爆炸性反应。与乙炔、烃等碳氢化合物 反应产生有机氯硅烷。 SiHCl +CH≡CH→CH CHSiCl 3 2 3 SiHCl +CH =CH —→CH CH2SiCl 3 2 2 3 3 在氢化铝锂、氢化硼锂存在条件下，SiHCl3可被还原为硅烷。容 器中的液态SiHCl3 当容器受到强烈撞击时会着火。无水状态下三氯