BNI融合的微纳传感器及其系统基础研究.docVIP

项目名称： BNI融合的微纳传感器及其系统基础研究 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 2006.1至2010.12 中国科学院 上海市科委 1、拟解决的关键科学问题 本项目的核心是超微量检测微纳传感器。面的框图所示。 纳米尺度效应及模型：当材料的尺度到了纳米尺度后，会产生明显的尺度效应。如硅材料在纳米尺度下其热传导、杨氏模量和压阻系数等特性不仅与材料的尺度有关，而且热传导系数变小有利于检测生化特异性反应产生的热量，杨氏模量变小则有利于在同样的应力条件下获得大的位移，压阻系数变大将可以大大提高压阻式传感器的灵敏度。因此，通过搞清材料的纳米尺度效应及模型，就可以将这些效应及模型用于微纳传感器的研究，从而大幅度提高传感器的灵敏度，研制出超微量快速检测微纳传感器。而且，这些效应及模型是材料的基本特性，其他微纳器件的研究也需要搞清这些问题，如纳电子器件的散热就与热传导纳米尺度效应密切相关。因此，这一科学问题的解决，对其他微纳器件的研究也有十分重要的意义。 生化特异性反应能量通过界面效应转换为微纳表征能量的机制：由于要检测的外界信息很多不是物理量，因此如何将需要检测的外界信息转换为微纳敏感结构可以检测的物理量是关键科学问题。生化特异性反应将要检测的生物量或化学量转换成微纳敏感结构可以检测的物理量生化特异性反应微纳传感器的。对于微纳传感器来说制造是基础，没有制造手段做保障就无法研制出微纳传感器，因此本项目要解决的关键科学问题就是微纳制造，主要研究自上而下和自下而上微纳制造及其融合技术、跨微纳尺度的传感器理论模型和模拟设计问题，不仅要为研制出突发应急传感监测网络所需的超微量检测微纳传感器提供制造和模拟设计手段，还进一步研究其他微纳传感器提供制造和模拟设计基础。 机电敏感结构（例如微纳悬臂梁等）特别适合将质量、应力应变、热、电荷、磁等物理量转换成电信号，因此，机电敏感结构一直受到人们的重视。机电敏感结构如果到了纳米尺度，其灵敏度将有质的飞跃，如它的质量检测分辨率在超高真空下可达10-18克量级，特别适合超微量检测。世界上最早的传感器存在于大自然，实际上许多动植物由于生存的需要有非常好的敏感结构，灵敏度和选择性非常高，向大自然学习有可能研制出高性能仿生传感器。研究表明许多动植物的敏感结构就是微纳敏感结构，仿生微纳敏感结构研制出超微量检测微纳传感器。碳纳米管作为一种性能优异的纳米材料，在快速、高灵敏检测方面有独特的优势。本项目将对基于碳纳米管的敏感结构进行探索，研制出超微量检测微纳传感器。生化特异性反应在微纳敏感结构上的信息转换机制微纳敏感结构的纳米尺度模型与可控构筑方法微纳传感器的超高灵敏检测与识别生化特异性反应在微纳敏感结构上的信息转换机制微纳敏感结构的纳米尺度模型与可控构筑方法微纳传感器的超高灵敏检测与识别 上述三方面的具体研究内容如下： 生化特异性反应在微纳敏感结构上的信息转换机制针对目标传感器，采用量子化学理论优化敏感反应效果，在微纳结构上进行表面修饰，将敏感材料固定于微纳结构表面，研究生化特异性反应机理以及生物量和化学量转换成物理量的机制，寻求提高灵敏度的方法，探索提高敏感材料共价交联的固定效率和稳定性方法。研究微纳尺度下界面效应对检测对象的扩散、富集、混合、表面反应等方面的影响，探索有效提高微反应速率的方法。合成筛选出用于炭疽杆菌和沙林等超微量检测的敏感材料。 微纳敏感结构的纳米尺度模型与可控构筑方法进行自上而下微纳制造技术研究。研究基于MEMS的纳米制造技术，探索纳米梁、桥、腔体、探针等典型纳米结构的制造技术；研究加工纳米尺度结构的新方法，主要包括基于刻蚀与腐蚀相结合的纳米结构加工方法，新型侧墙技术，基于聚焦离子束（FIB）等先进手段的纳米尺度局域化处理方法等；与纳米材料工艺兼容的微纳制造技术和阵列化微纳结构制造技术以及；为本项目研制超微量检测微纳传感器提供自上而下的微纳加工手段，为进一步研制其他微纳传感器打下工艺基础。 进行自下而上微纳制造技术研究。着重发展纳米结构及其器件的“自下而上”构筑新原理和新方法，实现按需构筑纳米结构体系；探索纳米结构生长机理，研究纳米尺度的材料物理化学，实现纳米结构可控生长(形态、相结构)；研究纳米结构与敏感性能间的关系，进行纳米结构表面化学、生物的修饰(包括官能团的接枝)，揭示纳米结构新的物理效应及纳米结构单元的物理/化学行为等，为研制微纳传感器件提供设计思路和制造手段。 进行自上而下和自下而上融合的微纳制造技术研究。研究在自上而下方式加工出的微/纳结构（如Si材料微/纳结构）上，进一步利用种子层或过渡层采用自下而上方式操纵、生长或组装纳米尺度结构（如碳纳米管或纳米带等）的方法，再进而研究制作成微纳传感器的工艺集成方法，包括驱动、检测元件的制作及集成工艺、敏感材料