类金刚石梯度膜的微观力学性能研究.pdfVIP

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2017-09-17 发布于重庆
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类金刚石梯度膜的微观力学性能研究.pdf

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第 38 卷第 4 期理化检验物理分册 Vol . 38 　No . 4 ( ) 2002 年 4 月 PTCA PART A : PHYSICAL TESTIN G Apr . 2002 试验研究类金刚石梯度膜的微观力学性能研究马　峰 , 蔡　　 , 李　刚 (上海交通大学教育部高温材料与高温测试重点实验室 , 上海 200030) 马洪涛 (清华大学摩擦学国家重点实验室 , 北京 100084) 摘　要 : 采用非平衡磁控溅射及等离子体源离子混合注入方法在奥氏体不锈钢 1Cr 18Ni9Ti 基体 ( ) 上制备N/ TiN/ Ti N ,C / DLC 梯度涂层。采用原子力显微镜等手段观察分析梯度膜的显微组织与相组成 , 同时采用纳米压入技术评定膜层的力学性能。实验结果表明 ,采用此方法制备的金刚石膜组织致密 ,性能良好。关键词 : 类金刚石膜 ; 原子力显微镜 ; 纳米压入技术 ( ) 中图分类号 : TG115. 5 　　　文献标识码 : A 　　　文章编号 : 2002 STUDY ON THE MICROMECHANICAL BEHAVIOR OF DIAMOND L IKE CARBONBASED FUNCTIONALL Y GRADIENT FILM MA Feng , CAI Xun , L I Gang ( Key Lab . of the Ministry of Education for High Temperature Materials and Testing , Shanghai Jiao Tong University , Shanghai 200030 , China) MA Hongtao ( State Key Lab . of Tribology , Tsinghua University , Beijing 100084 , China) Abstract : In this paper , the hybrid technique of unbalanced magnetron sputtering and plasma immersion ion implantation ( ) ( ) P Ⅲ was adopted to deposit diamond like carbonbased functionally gradient N/ TiN/ Ti N ,C / DLC film on the 304 stainless steel substrate . AFM was used to analyze the str