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实验一 光电功能薄膜的制备与分析技术
实验目的
通过对电子束热蒸发技术、离子束溅射沉积技术等薄膜制备技术的现场介绍
和操作实验，使学生较好地掌握薄膜制备的基本知识和技术，注重激发学生应用
所学知识解决实际问题的能力，为他们将来从事现代光电子薄膜物理与器件相关
的学术研究和企业产品研发打下扎实的基础。
教学要求
1、掌握光电功能薄膜的基本制备技术：真空制备和检测技术、电子束热蒸
发技术、离子束溅射沉积技术；
2、掌握薄膜分析技术：偏光显微镜测量、表面接触角测量、表面轮廓仪测
量粗糙度和厚度。
实验内容与学时分配
内容 学时
1、真空的获得和检测、检漏技术； 5
光电薄膜衬底处理技术
2、光电功能薄膜制备的离子束溅射技术 9
3、光电功能制备的电子束热蒸发技术 9
4、光电功能薄膜表面粗糙度与厚度测量 8
5、光电功能薄膜的光学、电学性质测量技术 5
教材与参考书
1．《纳米光电子功能薄膜》，吴锦雷，北京大学出版社，2006
2．《薄膜材料—制备原理、技术及应用》第二版，唐伟忠，冶金工业出版社，2007
3．《离子束沉积薄膜技术及应用》，刘金声，国防冶金工业出版社，2003
4．相关科技论文查阅
5．相关仪器说明书及本项综合实验物理指导书
考试方式
论文式系统综合实验报告
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