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第 卷 第 期 光学 精密工程
１６ １
Ｖｏｌ．１６ Ｎｏ．１
Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ
年 月 ｐ ｇ ｇ
２００８ １ Ｊａｎ．２００８
文章编号 （ ）
１００４９２４Ｘ２００８０１０００１０５
微通道板在 １２ ４０狀犿波段的量子效率测量
～
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１２ １２ １ １
李 敏 ，范鲜红 ，尼启良 ，陈 波
（ 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室，吉林 长春 ；
１． １３００３３
２．中国科学院 研究生院，北京 １０００３９）
摘要：提出了一种测量微通道板（ ）量子效率的方法。该方法选用激光等离子体光源作为极紫外辐射源，使用传递标
ＭＣＰ
准探测器—硅光电二极管标定光源强度，用标定后的光照射待测 ＭＣＰ，采用直接测量电压来间接测量探测器输出电流，
再计算出 量子效率。实验结果表明，在 ， 量子效率为 ，量子效率随波长的增大呈下降
ＭＣＰ １２ ４０ｎｍ ＭＣＰ ２％ １２．３％
～ ～
趋势。测量与误差分析表明，导致 ＭＣＰ量子效率测量结果变化的主要因素是光源稳定性和机械转动精度。通过与计数
方式测量结果比较，进一步验证了本测量方法的正确性。
关 键 词：极紫外；微通道板；量子效率
中图分类号： 文献标识码：
ＴＮ１４４ Ａ
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