不锈钢基体预处理对合成类金刚石碳膜的影响3.pdfVIP

第43 卷第5 期 . 43, . 5 Vol No 　　　　　　　　　　　　　 真　 空　　VACUUM 　　　　　　　　　　　　　　　　　　 2006 年9 月 . 2006 Sep 不锈钢基体预处理对合成类金刚石碳膜的影响 1 1, 2 1 1 李　明 , 蔺　增 , 巴德纯 , 张海鸣 ( 1. 东北大学, 辽宁　沈阳　110004; 　2. 华中科技大学塑性成形模拟及模具技术国家重点实验室, 湖北　武汉　430074) 摘　要: 本文研究了在射频等离子体增强化学气相沉积工艺中不同的预处理方法对不锈钢基底上类金刚石 碳膜生长的影响。所沉积的碳膜的结构和形貌分别用激光R am an 光谱和扫描电子显微镜进行了分析, 薄膜与 基底的结合力通过划痕实验进行了表征。实验结果表明, 通过采用合适的过渡层能显著提高类金刚石碳膜与 基底的结合力, 而通过化学腐蚀的方法对提高结合力的帮助不大。 关键词: 类金刚石碳膜; 不锈钢基底; 预处理; 膜基结合力 中图分类号: TB 79　　　　文献标识码: A 　　　　文章编号:(2006) 0500 1603 In f luen ce of pretrea tm en t on syn the sis of DL C f ilm s on sta in le ss steel substra te 1 1, 2 1 1 , , , L IM in g L IN Zen g BA D e chun ZHAN G H a i m in g ( 1. N or th eas tern U n iv ers ity , S h eny ang 110004, Ch ina; 　 2. S ta te k ey L abora tory of P las tic F orm ing S im u la tion and D ie M ou ld T ech nology W uh an 430074, Ch iana ) A bstract: D iscu sse s th e in flu en ce o f p ret reatm en t on th e syn th e sis o f DL C film s on sta in le ss stee l sub st rate by rf PECVD ( ) . rad io frequ en cy p la sm a enh an ced ch em ica l vapo r depo sit ion p roce ss T h e m