声表面波器件中声波在不同介质中的传播特性.docVIP

声表面波器件中声波在中的传播特性 前言 声表面波SAW（SURFACE ACOUSTIC WAVE）。声表面波器件是以声表面波为媒介进行电信号传输的元件。其结构图如下： 图1：声表面波器件结构原理图 声表面波器件声表面波器件声表面波器件 声表面波器件薄膜材料声表面波器件 1 声表面波的几个基本概念 声表面波慢速曲线能流方向，也称能流角）。计算走离角一般遵循“相速度—倒速度—倒速度曲线—能流方向—走离角”这样的步骤，用公式可表达为：，其中代表相速度方向，即波传播方向。还有一个概念称为群速度（），即声表面波的调制速度，研究时，群速度方向往往和能流方向保持一致。 评价声表面波还有一个重要的参数，我们称之为机电耦合系数这个参数是观察波的压电效应强弱的指标。它可用用公式来表示。其中表示基底表面金属化的波速，表示基底表面非金属化的波速。值代表机电耦合系数。 2 声表面波在铌酸锂中的传播特性 铌酸锂分子式为 LiNbO3，在自然环境下呈单晶体形态，一般采用熔体导模法制造技术生产，是最广泛应用于声表面波器件的晶体物质。 LiNbO3晶体制作的器件种类繁多，几乎囊括了所有声表面波器件，如各种滤波器（带通、展宽、脉冲压缩）、存贮器、延迟线等。原因就在于LiNbO3晶体制造技术成熟，材料获取容易，且LiNbO3晶体机电耦合系数大，适合新产品的开发和设计。 决定声表面波传播特性的因素有两个，一是晶体