基于弹性力学的应力加工方法有限元分析.pdfVIP

电子发烧友 电子技术论坛 第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２２ ２ Ｖｏｌ．２２ Ｎｏ．２ 　 　 年 月 ， ２０１０ ２ ＨＩＧＨＰＯＷＥＲＬＡＳＥＲＡＮＤＰＡＲＴＩＣＬＥＢＥＡＭＳ Ｆｅｂ．２０１０ 　 　 文章编号： （ ） １００１４３２２２０１０２０３６１０４ 　 基于弹性力学的应力加工方法有限元分析 ， １２ １ １ １ １ 孙天祥 ， 杨 力 ， 吴永前 ， 雷柏平 ， 万勇建 　 　 　 　 　 （ 中国科学院光电技术研究所，成都 ； 中国科学院研究生院，北京 ） １． ６１０２０９ ２． １０００３９ 　 摘 要： 基于弹性力学理论，对应力加工方法的原理、算法及玻璃薄板对复杂面型的模拟进行了研究。 　　 　 　 在球面镜周边分布力和力矩的状态下对球面变形为轴对称非球面进行了分析，以抛物面镜为例，采用有限元法 对玻璃薄板周边施加均布弯矩后产生的变形量和最大应力进行了模拟、分析和仿真计算，得出的仿真结果与球 面和抛物面之间的理想变形量进行比较，验证了基于弹性力学的应力加工方法加工旋转对称非球面理论的正 确性。 关键词： 光学加工； 应力加工方法； 弹性力学； 抛物面； 有限元法 　　 　 　 　 　 　 中图分类号： 文献标志码： ： ／ ＴＨ７４ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＨＰＬＰ０３６１ 　　 　 　　　　 　 　　 大型光学系统中，采用非球面光学元件能改善光学系统的复杂性，减少尺寸和重量，有效提高光学系统性 　　 ［］ 能，因此，研制高质量大口径的非球面光学元件对空间光学和天文光学的发展有重要的意义 １ 。大口径非球面 加工技术一直是先进光学制造领域研究的前沿课题，仍然面临很多挑战。对此，本文开展了以大型非球面应力 加工（ ）方法为核心的相关先进光学制造技术的研究。 把薄板弹性力学理论应用于抛光非球面光学 ＳＭＰ ＳＭＰ 元件，使光学元件具有可控变形的特点。根据加工中球面相对于待加工的非球面之间的偏离量，控制施加在球 ［ ］ 面边缘的作用力和力矩来实现变形量 ２３ 。 １ 应力加工方法的原理 　 相对于经典加工固有的局限性和低加工效率， 方法是基 ＳＭＰ 　　 于弹性力学