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18 12 Vol. 18 No. 12
2010 12 Opt ics and Precision Engineering Dec. 2010
1004924X( 2010) 12259 06
唐 飞, 王晓浩, 张 亮
( 清华大学 精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室, 京100084)
: ( FAIM S) ,
3 , 200 m MEMS ,
FAIMS MEMS Fluent , , ,
KEITH LEY 23 , 0. 5 pA
, 210 pA , FAIMS
: 高场非对称波形离子迁移谱; 微机电系统; 法拉第筒; 离子检测器; 微弱电流
:TL811 :A doi: 10. 3 88/ OPE. 259
Array micro Faraday cup ion current detector for FAIMS
T ANG Fei, WAN G Xiaohao, ZHAN G Liang
(State K ey Laboratory of Precision M easurement Technology and Instruments, Dep artment
of Precision Instruments and M echanology , Tsinghua University , eij ing 100084, China)
Abstract : An array micro Faraday cup ion current detector is presented. With its design, a simpler and
smaller Highfield A symmetric Waveform Ion Mobility Spectrometry ( FAIMS) could be achieved.
Compared w ith other types of detectors, it has advantages in simplicity, stability, low noise, high
measuring range, and atmosphere compatibility. T he Array M icro Faraday Cup( AM FC) is made up of
three parts: grid electrode, sensing array and shielding electrode, in w hich the sensing array is formed
by dozens of 200microndiameter silicon cylinders in a staggered arrangement. The structure of the
micro Faraday cup can be fabricated in a typical MEM S fabrication process, for it is totally compatible
w ith the planar FAIMS micro chip. Fluent simulation results show that the design could realize a
small fluid resistance force, and the flow field of the carrier gas is in favor of a better absorption of the
ions. When it is combined w ith a KEITH LEY 23 electrometer, the noise level of the AM FC is about
0. 5 pA, while the output signal of an acetone sample
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