广义样条滤波器在表面形貌测量中的应用.pdfVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １６ ９ 　 Ｖｏｌ．１６ Ｎｏ．９ 　 　 　　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００８ ９ Ｓｅ．２００８ 　 　 　 ｐ 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００８０９１７２２０５ 　 广义 样条滤波器在表面形貌测量中的应用 犅 １ １ １ ２ 张 浩 ，袁怡宝 ，张 峰 ，许景波 　 　 （ 哈尔滨工业大学 电气与自动化学院，黑龙江 哈尔滨 ； １． １５０００１ ２．哈尔滨理工大学 测量与通信工程学院，黑龙江 哈尔滨 １５００４０） 摘要：为了提取工件表面轮廓中线，给出了一种基于三阶广义 样条函数的数字光滑滤波器。由线性微分方程推导出广 Ｂ 义 样条函数，并结合广义 样条函数和变分公式推导出由一 滤波器和间接广义 样条变换组成的数字平滑滤波 Ｂ Ｂ ＩＩＲ Ｂ 器。给出了数字平滑滤波器的具体递归算法，并且证明了该滤波器的通用特性。最后，提取了实际工件表面中线。实验 结果表明：该滤波器的截止特性比高斯滤波器的好，该算法利用普通计算机提取 １１２００点数据表面中线仅耗时０．００２ｓ。 提出的滤波器具有可调平滑性，零相移特性，克服了传统三阶样条插值的曲率低和振荡等缺陷，其递归滤波器的具体算 法简洁，效率高。 关 键 词：广义 样条函数；光滑样条滤波器；形貌测量 Ｂ 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ＴＮ７１３．４ＴＢ９２ Ａ 　　 犃 犾犻犮犪狋犻狅狀狅犳犲狀犲狉犪犾犻狕犲犱犅狊犾犻狀犲犳犻犾狋犲狉狋狅狊狌狉犳犪犮犲狉狅犳犻犾犲犿犲犪狊狌狉犲犿犲狀狋 狆狆 犵 狆 狆 １ １ １ ２ ， ， ， ＺＨＡＮＧＨａｏ ＹＵＡＮＹｉｂａｏ ＺＨＡＮＧＦｅｎ ＸＵＪｉｎｂｏ ｇ ｇ （ ， ， １．犛犮犺狅狅犾狅 犈犾犲犮狋狉犻犮犪犾犈狀犻狀犲犲狉犻狀 犪狀犱犃狌狋狅犿犪狋犻狅狀 犎犪狉犫犻狀犐狀狊狋犻狋狌