临界角法检焦系统的设计.pdfVIP

下载本文档

12
0
约 5页
2017-09-16 发布于重庆
举报
版权申诉

临界角法检焦系统的设计.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

第卷第期光学精密工程１７３　Ｖｏｌ．１７Ｎｏ．３　　　　　　　　　　ＯｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ　　　　　　　年月　ｐｇｇ２００９３Ｍａｒ．２００９　　　文章编号（）１００４９２４Ｘ２００９０３０５３７０５　临界角法检焦系统的设计，１２１１郝贤鹏，任建岳，邹振书（中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春；１．１３００３３２．中国科学院研究生院，北京１０００３９）摘要：利用临界角法检焦具有分辨力高、损失光能小、结构简单、系统调试容易的特点设计了亚微米级检焦系统。介绍了临界角法离焦检测的基本原理，通过合理假设，利用菲涅尔公式和高斯光学公式得到了离焦误差信号的计算公式。实验采用单光路临界角法，利用ＨｅＮｅ激光器、临界角棱镜、四象限光电探测器、信号采样电路、数据采集卡等元器件组成离焦检测系统，实现离焦信号的提取；通过数字滤波、归一化处理等技术得到离焦误差信号（），以此获得的大小和ＦＥＳＦＥＳ变化趋势与离焦量的关系曲线。实验表明，临界角法探焦系统静态分辨力＜１５ｎｍ、线性范围可达±４ｍ，满足亚微米 μ 级检焦系统的设计要求。关键词：临界角法；离焦检焦；亚微米级　　中图分类号：文献标识码：ＴＨ７０３Ａ　　犇犲狊犻狀狅犳犳狅犮狌狊犲狉狉狅狉犱犲狋犲犮狋犻狅狀狊狊狋犲犿犫犪狊犲犱狅狀犮狉犻狋犻犮犪犾犪狀犾犲犿犲狋犺狅犱犵狔犵，１２１１，，ＨＡＯＸｉａｎｅｎＲＥＮＪｉａｎｕｅＺＯＵＺｈｅｎｓｈｕｐｇｙ（，，１．犆犺犪狀犮犺狌狀犐狀狊狋犻狋狌狋犲狅犗狋犻犮狊犉犻狀犲犕犲犮犺犪狀犻犮狊犪狀犱犘犺狊犻犮狊