光学读出微梁阵列红外成像及性能分析.pdfVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 1( 1 #%% 1 ， ， ， TU6 ,1( SU ,1 G-L #%% （ ） !%%%3$#’%N#%%N1( %1 N#1#’3%D +/O+ *PQHR/+ HRSR/+ #%% /859 , *8L? , HU , 光学读出微梁阵列红外成像及性能分析! ） ） ） ） ） ） ） ） ! ! # ! ! ! ! # 熊志铭 张青川 陈大鹏 伍小平 郭哲颖 董凤良 缪正宇 李超波 !）（中国科学技术大学，中国科学院材料力学行为和设计重点实验室，合肥 #$%%# ） # ）（中国科学院微电子研究所，北京 !%%%#’ ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） #%%( ( ## #%%( ’ ! 在构建的光学读出微梁阵列（焦平面阵列 ）非制冷红外成像系统中，实现了无硅基底 置于空气中对人 )*+ )*+ 体的热成像, 通过)*+ 在不同真空度环境条件下的成像结果进行比较，分析了热导和系统噪声值随气压变化的关 系，以及对系统成像性能的影响，并对气体分子热运动自由程大于空气传热层特征尺度时的气体热传导模型进行 了修正分析和实验验证 实验结果表明： 置于空气中时，气体分子撞击微梁引起的微梁反光板无序振动产生的 , )*+ 光学读出噪声成为系统噪声的主要来源, 当真空度小于 ! *- 时，总热导和光学读出噪声值的变化都趋于平缓；当 真空度小于!% . # *- 时，空气热导的影响可忽略，总热导降低到微梁感热像素的辐射极限，光学读出噪声也降低到 一极小值, 实验结果与理论分析相符合, 关键词：非制冷红外成像，光学读出，双材料微梁阵列，热导 ： ， ， !## %!%/ %(# 00!% 艺的发展，采用无读出电路的双材料微梁阵列作为 ［— ］ # 0 !C 引 言 焦平面阵列，并利用各种光学读出方式 检测微 梁阵列热致变形的非制冷红外成像技术日益受到重 在军用和民用领域都具有迫切需求的红外成像 视 年至今， 研究小组发展了基于光 , !’’ IAJKA6AL 技术分为量子型（制冷）和热型（非制冷）两大类, 量