铰链四杆单面抛光机构运动轨迹的仿真研究.pdfVIP

专题报导专题报导 铰链四杆单面抛光机构运动轨迹的仿真研究! 方坤礼 蒋晓英 张庆功 （ ） 衢州学院 筹 机电工程系 浙江衢州 !#$$$ 摘 要 针对解析法研究研磨轨迹存在建立数学方程烦琐，参数变化后需反复求解和重新模拟轨迹等问题，提出了 % 采用虚拟样机技术研究轨迹的方法。以铰链四杆单面抛光机构为研究对象，运用’() 软件实现了晶片单面抛光的运动 轨迹仿真。结果表明，使用虚拟样机技术能够快速、准确地获得铰链四杆单面抛光机构驱动下晶片质心的运动轨迹，并且 轨迹形状主要由机构输入的运动参数决定。 关键词：虚拟样机 !!#$ 轨迹仿真 中图分类号： ； 文献标识码： 文章编号： 4 5 *+,!!- . */.0$- 122 ,$$$ 3 #220 $$2 $! 3 $$ 3 $ 传统的研磨轨迹研究普遍采用解析法，即分析磨 放在抛光盘上。当工件晶片与抛光盘存在相对运动时， 具与工件之间的相对运动与它们的绝对坐标之间的关 两者之间产生的动摩擦力迫使工件晶片在抛光盘上作 库 系，建立研磨轨迹方程。这种方法比较准确，但建立数 平面运动。例 学方程烦琐，而且必须经过模拟试验才能得到轨迹图 % 抛光机构虚拟样机模型 形。一旦改变相关参数，需要重新对已建立的数学方程 案 = ， 求解，重新模拟轨迹 , 。针对这些问题，本文将运用机 在’() 9 FAEG 的交互式图形环境下，通过零件 E 械系统运动学、动力学仿真分析软件’() 模拟铰 库中的杆件和圆柱等基本构件建立铰链四杆机构三维 A n = # 模型后，需要对各个构件施加约束 。为此，将机架与 链四杆抛光机构研磨工件晶片单面质心的运动轨迹， c . C （ ） （ ） 分析影响轨迹形状的主要因素。 大地 /78HIC 通过固定副 JAKEC L8AIM 进行锁定，而曲 g 柄与机架、连杆与曲柄、摇杆与连杆、摇杆与机架以及 r 抛光机构工作原理 模 o （ ） 抛光盘与摇杆之间通过转动副 NEO8BHME ?8AIM 连接，如 . 铰链四杆机构驱动下晶片单面抛光的工作原理， 表 所示。此外，在曲柄与机架以及抛光盘与摇杆构成 楷 ,