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第 29 卷 　第 5 期 稀 　有 　金 　属 2005 年 10 月 Vol. 29 №. 5 　　　　　 　　　　　　CHINESE JOURNAL OF RARE METALS　　　　　　　　　　 Oct. 2005 利用钛过渡层及掺钼改善声表面波器件用铝薄膜的 微结构与性能① 1 ,2 1 1 李冬梅 , 王旭波 , 潘　峰 ( 1. 清华大学材料科学与工程系 , 先进材料教育部重点实验室 , 北京 100084 ; 2. 新疆大学化学化工学院 , 新疆 乌鲁木齐 830046) ( ) 摘要 : 纯铝薄膜以其低声阻抗特性被广泛应用于声表面波 SAW 器件的制作。随着通讯频率的不断提高 , 对 SAW 器件用 Al 薄膜的功率承受 力以及与基体的附着力提出了越来越高的要求。采用少量易于反应离子刻蚀的Mo 元素掺杂来改善Al 合金的抗电迁移和功率承受力 , 并以数 ( ) 纳米的 Ti 过渡层增强 AlMo 合金薄膜的取向性。结果表明 : Ti/ AlMo 薄膜表现出强 111 织构 , 与纯Al 薄膜相比 , 晶粒明显细化且致密均匀 , 临界载荷大大增加 , 与基体的附着力显著增强 , 并具有良好的刻蚀性能。 关键词 : AlMo 薄膜 ; Ti 过渡层 ; 附着力; 声表面波 ( ) 中图分类号: TN65 　　文献标识码 : A 　　文章编号 :0258 - 7076 2005 05 - 0742 - 05 ( ) 　　声表面波 SAW 滤波器是一种对信号具有选 本文选择Mo 作为合金元素添加到Al 膜中 , 并 择作用的无源器件 , 因其具有体积小、质量轻、滤 采用 Ti 过渡层制备了易刻蚀的 Ti/ Al - Mo 多层薄 波性能优越、一致性好等优点 , 被广泛的应用于现 膜 , 并对薄膜的机械性能及其电性能进行了研究。 代通讯系统中[1 ,2 ] 。在 SAW 器件制作过程中 , 电讯 1 　过渡层的选择 号和声讯号的转换是由叉指换能器来完成。铝具 ( ) 有很高的电导率 , 声阻抗小 , 化学性质稳定 , 易于 作为频率器件 , SAW 器件对叉指换能器 IDT 沉积 , 因而被广泛用作叉指换能器的材料[3～6 ] 。工 厚度、宽度、侧剖面形状有很严格的要求 , 因为这 作频率达到 GHz 的 SAW 滤波器 , 叉指换能器指条 些会直接影响到器件的频率、带宽及插损等特性。 宽度一般为微米或纳米量级 , 如此微细的电极 , 需 因此 , 金属薄膜在具有高电导率及高功率耐受力 要有强的功率承受力和机械承受力 , 因为在高功 的同时 , 必须容易制作成精细的图形。湿法腐蚀技 率下来自于声表面波的重复应力会引起 Al 原子沿 术由于各向同性 , 存