纳米梁非线性振动的动力学分析.pdfVIP

!!# $%’(% ) *%(+,-.-/0 纳米梁非线性振动的动力学分析 宋震煜，于 虹 （东南大学!!# 教育部重点实验室，南京 $%’( ） 摘要：当 谐振梁的尺寸进一步缩小到 量级时，实验表明在外部激励的作用下，器件 !!# )* 运动状态更容易从线性区进入到非线性区。考虑纳米梁的轴向非线性伸长因素，利用连续体弹 性理论建立了物理模型，并利用该模型分析了纳米梁的幅频特性和纳米梁非线性产生的物理机 制。分析结果与已有的实验报道结果相符。 关键词：纳机电系统；连续体；非线性模型；+,--.)/ 方程；阻尼 中图分类号： ； 文献标识码： 文章编号： （ ） GDF= @=!! . %-F %HAFF- !- =H %A#H# !#$%’ (#$)** +,- .,#)#/$- 01-$2,# ,+ .$#,1/$% )@0C IJ3,HK9 ，LM D8,N （ ， ， ， ） !# $%’(%)’(# ’* +,+- ’* +./.0)(# ’* ,123%).’/ -’2)4%0) 5/.6(0 .)# 7%/8 ./9 !%- :4./% (1*2-$’2 ：(OP3+3,Q42 3;92Q; ;J8R QJ4Q QJ3 5K,4+S ;Q4Q9; 8T 3;8,4,Q ?34+; +8QU4Q35 ?K 3OH Q3,42 T8S3 ; ;RQSJ35 T8+ 2,34QK ,Q8 ,8,2,34 E8,3 34;2K RJ3, QJ3 ’(’) 3;8,4,Q ?34+; 43 ;S4235 58R, Q8 ,4,8+3Q3;/ V4;35 8, S8,Q,99+ 324;QS QJ38K ，4 +8532 S8,;53,N QJ3 4O42 3OQ3,;8, 8T QJ3 ,4,8?34+ ; NU3, ，4,5 QJ3 T3W93,SK 3;P8,;3 SJ44SQ3;QS; 8T QJ3 ,4,8?34+ 43 4,42KE35/ GJ3 3;92Q; ;J8R 4 N885 4N33+3,Q RQJ QJ3 3OP3+3,Q;/ 3/ 4,-5* ：0(’) ；S8,Q,99+ QJ38K ；,8,2,34 +8532 ；59TT,N 3W94Q8, ；54+P,N 率可以达到 CDE 量级，非线性行为也更加明显。 % 引 言 !! 年(?3 等人利用纳米梁的非线性特性实现了 ［，］ 随着微机械加工工艺的进步，现在已经可以将 机械混频 # - ，这预示0(’) 器件将在无线射频通 ’(’) 器件的尺寸进一步制作到*# !+ 以下甚至 信和信号传输领域有着广阔的应用前景。 ,+ 量级。%- 年 ./0/12324,5 和 ’/6/789:3; 在 然而相对于0(’) 制作工艺的快速发展，对 ) 衬底上成功制作了特征尺寸为 == ,+ 的双端 0(’) 的理论研究比较落后。由于纳米梁的动态响 ［］ % ［］ 固定梁 之后，./(?3 等人又将尺寸进一步缩