硬射线光子筛波导效应研究.pdfVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 (+ $##% ， ， ， TD6 *(+ SD * SDK83U8A $##% （ ） ###2’$%#M$##%M(+ M+#$2#( N0ON HPQLR0N LRSR0N $##% 0:5; * H:VB * LD9 * 硬 射线光子筛波导效应研究! ! ! 谢常青 朱效立 贾 佳 （中国科学院微电子研究所，北京 ###$% ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） $##% $ $##% ’ ( 基于快速傅里叶变换光束传播法，研究了硬 射线光子筛中高高宽比金属结构的波导效应，确定了硬 射线 ) ) 光子筛的物理边界条件，采用角谱法计算了硬 射线光子筛的点扩展函数，并分析了吸收体厚度对聚焦性能的影 ) 响 研究结果表明波导效应一定程度上有利于抑制光子筛高级衍射的产生，提高聚焦性能 在同样的特征尺寸下， * * 硬 射线光子筛的空间分辨率优于菲涅尔波带片，其缺点是衍射效率的下降 吸收体厚度的提高有利于提高光子 ) * 筛的聚焦性能和衍射效率，但是相应的纳米加工工艺难度会增加* 关键词：菲涅尔波带片，硬 射线光子筛，光束传播法，角谱法 ) ： ， ， #$$ +,#- .$+#/ #,# 步辐射装置生物和医学线站、国家同步辐射实验室 的高空间分辨 射线成像站均基于硬 射线波带 ? 引 言 ) ) 片进行成像* 各种材料在 射线波段的折射率实部非常接 ) @GH 的空间分辨率与其最外环宽有关，理论上 近 ，而虚部非常小，常规的折射光学元件难于获得 的瑞利分辨率为最外环宽的 倍 为了突破 @GH ?$$ * 应用，基于衍射原理的 射线菲涅尔波带片（ 的空间分辨率限制， 年 等人提出了一 )