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8 5 Vol. 8, No. 5
2 0 0 0 1 0 OP T ICS A N D PR ECI SION EN GI NEER IN G Oct . , 2 000
1004-924X( 2000) 05-0440-04
贾宏光, 吴一辉, 于振雷, 王立鼎
( 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130021)
:
, ,
, , -
,
: 压电陶瓷; 微位移工作台; 动态特性分析
: T M 384: A
1 引 言 ,
, ,
,
,
2 压电元件的传递特性
,
,
2 R
;
Cp ; L p
,
, Mp / ( kp Cp ) , M p kp
,
,
,
F ig . 1 T he mo del of the mic o po sitio ning sy st em
d iv en by PZ T actuato . T he g uide mecha-
nism and t he sp ing can be co mbined into a
single mechanism - the flexu e hig e mecha-
nism
1
,
F ig . 2 T he model of a P ZT actuato wo king in low
f equency
: 2000-06-05; : 2000-07-06
5 , :
441
, : f i ( t) f o ( t )
, :
Uo ( s) 1 :
G1 ( s) = = 2 ( 1)
Ui ( s) L p Cp s + R Cp s + 1 2
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