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低成本、高產能太陽能電池之抗反射薄膜開發 Development of Low-cost and High Throughput Anti-refractive Coating for Solar Cells 黃俊杰 Jung-Jie Huanga 、李佑祖Yu-Tsu Leeb 明道大學材料科學與工程學系 a b 助理教授研究助理 陳來成 Lai-Cheng. Chen1 、鄭鐵扉Tieh-Fei. Cheng2 、陳柏村Pai-Tsun. Chen3 1 2 3 均豪精密工業股份有限公司太陽能整合事業處 副總經理、 PV 技術整合部 經理 資深工程師 摘要 本研究是利用液相沉積法之方式，藉由六氟鈦酸銨與硼酸混和溶液製備二氧化鈦抗反射薄膜 於6吋多晶矽基板上，並應用此抗反射薄膜於太陽能電池上。液相沉積法為低溫製程、具選擇性沉 積、大面積生產、薄膜成份容易調整以及可批次量產等優點。在最佳製程條件下，其平均反射率在 波長範圍 400 – 900 nm內為 5.94 % ，而二氧化鈦抗反射薄膜應用於6吋多晶矽太陽能電池上，其光 電轉換效率可達 15.92 % 。 關鍵詞：液相沉積法、抗反射薄膜、多晶太陽能電池、六氟鈦酸銨、硼酸 Abstract In this investigation, titanium oxide anti-refractive films were deposited on 6 inch polycrystalline silicon substrate by liquid phase deposition using a deposition solution of ammonium hexafluoro-titanate and boric acid for solar cell application. Liquid phase deposition is a low-temperature growth process that has other advantages such as high selectivity, large area, simplicity, ease of change of the film composition, and support of mass production. In the optimum condition, the average reflectance is 5.94% at wavelengths from 400 to 900 nm. The photovoltaic conversion efficiency of 6 inch poly-Si solar cell with the optimum titanium oxide film can reach 15.92 %. Keyword: liquid phase deposition, anti-reflection coating, poly silicon solar cell, ammonium hexafluoro-titanate, boric acid 一、 前言 隨著近幾年來太陽能產業的迅速發展，矽晶型太陽能電池已佔整個太陽能電池 市場的90 %以上，由於越來越多公司投入太陽能產業，矽晶太陽能電池轉換效率 也不斷地屢創新高，因此矽晶型太陽能電池研究一直是太陽能相關領域研究中最令 人矚目，直到2011 年第二季末歐洲國家陸陸續續關閉單多太陽能廠[1-2] ，主要原 因是太陽能電池成本一直居高不下，如此一來，要使太陽能電池成本降低需提出幾 1 個方案解決 (1)開發低成本高效率太陽能電池 ; (2)從現有量產產線作調整，而開發新 型太陽能電池且要馬上應用於現今太陽能廠之中，所需時間太過攏長，因此，最快 途徑則是由第二點做調整，而目前單多晶太陽能電池產線主要為幾個步驟，1.texture 2. diffusion 3. anti-reflection coating 4. screen printing 5. firing 6. Solar cell tex