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45 11 上 海 交 通 大 学 学 报 V ol. 45 N o . 11
20 11 11 JO U RN A L OF SH A N GH AI JIA O T O NG U N IV ERSIT Y N ov . 20 11
: 1006- 2467 ( 2011 11- 173 1- 06
PDM S
1, 2 1 1 1 1
朱壮晖 , 李 刚 , 周洪波 , 张 华 , 赵建龙
( 1. , 200050;
2. , 1000 39
: 为了利用柔顺性材料实现 极位点与靶细胞的良好接触, 同时保证微 极的可靠性, 提出
了一种新的聚二甲基硅氧烷( PD MS 微 极制作方法. 该方法通过在硅基表面沉积金属层光刻图
形化以及 镀形成 极基本结构, 然后通过P DM S 浇注湿法刻蚀释放以及键合完成基于PD MS
微 极制作. 其中, 微 极绝缘层制作和 极位点暴露采用浇注PD MS 并结合外力夹压固化和
PD MS 湿法刻蚀来实现. 使用该方法制作的PDM S 极, 结构稳定可靠性好, 具有良好的贴附性.
同时, 通过SEM 和阻抗测试对所制作的微 极进行了表面形貌和 学性能的测试和评价. 结果显
示, 相对于传统方法制作的PDM S 微 极, 化学阻抗降低了近60% ( 频率1 kH z 处 , 基于该方法
制作的PD MS 微 极在力学和 学性能方面均具明显优势.
: 微 极阵列; 聚二甲基硅氧烷; 镀; 人工视网膜
: T P 216; T M 938. 82 : A
PDMS- Based Neural Microelectrode Arrays for Ret inal Prost hesis
1, 2 1 1 1 1
ZH U Zh uang- hui , L I Gang , ZH O U H ong-bo , ZH A N G H ua , ZH A O J ian-long
( 1. Shanghai Inst it ut e of M icro syst em and Inf ormat ion T echnolo gy, Chinese A cademy of Sciences,
St at e Key L ab of T ransducer T echnolog y, Shanghai 200050, China; 2 . Graduat e School of
t he Chinese A cadem y of Sciences , Beijing 100039, China
Abstract: In or der t o impr ove t he cont act betw een elect ro de sit es and t ar get neurons by u sing confo rmable
subst rat es , and m eanw hile ensure t he reliabilit y of t he microelect rode array s, a new m et hod f or f abr icating
crack-f ree po lydimet hylsilo xane ( PD MS - based m icroelect ro de arrays ( M EA s was presen
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