尺寸金石厚膜的制备.pdfVIP

甲 , 第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 、 年 月 、 人 文章编 号 一 一 一 大尺 寸 金 刚石 厚膜 的制备及应 用 王 兵 , 冉 均 国 , 梅 军 , 李 力 , 季锡 林 四 川 大 学无 机 材 料 系, 成 都 西 南 结 构 力 学研 究所 , 四 川 绵 阳 摘 要 采用 电子辅助 化学气相 沉积法 制备 了直径 、 厚度 以上 的大 尺 寸金 刚石 厚膜 , 这是 国 内已 见 报道 的最大成 膜尺 寸 和 光谱 分析表 明它 是 一 种纯 晶质的多 晶金 刚石 材料 其硬度接近天然金 刚石 , 远 高于 聚 晶金 刚石 将这 种材 料 加工 成拉丝 模具 , 现 场拉丝 结果表 明其拉丝 效果与天 然金 刚石和进 口优 质聚 晶相 当 , 优 于 国产 聚 晶 用这 种金 刚石制 成 的拉 丝模具可广 泛 用于 拉制 钨 、 钥 、 铜和 不 锈钢丝 关 键 词 金 刚石 厚膜 电子辅助 拉丝 模具 中图分类号 文献标识 码 引言 近 年 来 , 在 金 刚石 生 长机 理 研 究的指导 下 , 随着合成装 置 的改进 , 监测 手 段 的完 备和 提 高 , 金 刚石 研 究取 得 了长 足 的进 步 , 合 成 出的金 刚石 多 晶膜 的硬 度 、 纯 度 、 热 导 率 、 弹性模量 、 透 光 性 、 折射 率和 介 电常数 等 性 能指 标均 达 到 或接近 天 然 金 刚石 的相 应 值 , 在 机 械 、 热 学 、 光 学 、 声学 等方 面 得 到 广泛 应 用 〕