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第33卷第9期 发 光 学 报 V01．33No．9
2012年9月 CHINESE
JOURNALOFLUMINESCENCESept-，2012
文章编号：1000_7032(2012)09—1012_06
nm
基于亚波长金属光栅的980
高功率垂直腔面发射激光器偏振控制
张祥伟1’2，宁永强H，秦莉1，刘 云1，王立军1
(1．发光学与应用国家重点实验室中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春130033；
2．中国科学院研究生院，北京100049)
摘要：利用制作在P—DBRs表面的亚波长金属光栅，在980nm高功率底发射垂直腔面发射激光器有源区引
人各向异性增益，达到了偏振控制的目的。本光栅基于等效介质理论和抗反射理论设计而成，光栅周期为
186
nm，占空比为0．5。通过多物理场有限元分析软件对所设计的光栅进行了模拟分析，结果基本上符合设
计要求。通过优化工艺步骤得到了较好的实验结果，550斗m孔径的VcsEL在正交方向上的偏振比为3，输出
功率达到870mw。
关键词：垂直腔面发射激光器；金属光栅；偏振控制
中图分类号：TN248．4文献标识码：A DoI：10．3788／fgx1012
PolarizationControlof980nm Vertical-caVity
High-power
L嬲ers
Surface-emittingbyUsingSub-waVelengthMetal—gratings
ZHANG Lil，UU
xiang．weil”，NINGYong．qiang¨，QINYunl，WANGLi-junl
(1．＆o把研如60删。可o，￡啪i心ce脚口ndAPpz如口勘瑚，傩n哪^“n‰砒把旷晒如，
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2．Gmd眦把‰讹邶毋o，吼iMeA∞如啊矿诧删，Be彬昭100049，吼i眦)
$co册警埘ndi昭A眦br，E—m以：ni7锄叼@c如mp．∞．cn
Abstract：Theeontrolof laserswith emission
p01arizationvertical—cavitysudace—emittinghighpower
was of
demonstrated to witha
byusingmetal—gratingimport’non—isotropicgain．Thegrating period
186nmanda ratioof0．5whichwere onef．fective andantire—
calculatedbased medium
duty theory
nection wassimulated 6eldoffiniteelement
theory．Then，
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