脉冲激光制备薄膜材料的烧蚀原理.pdfVIP

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2017-09-14 发布于山东
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脉冲激光制备薄膜材料的烧蚀原理.pdf

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第卷第期年月物理学报 ($ ’ % ’ ，，， RS5 *($ QS *’ +=5T % （） !1$,J%J($ ’ J$’1’ .KL. BMNOPK. OPQPK. % K748 * B7TU * OS? * ############################################################### 脉冲激光制备薄膜材料的烧蚀机理! ））））））））））））） ! # ! ! $ ! ! ! 张端明侯思普关丽钟志成李智华杨凤霞郑克玉 !）（华中科技大学物理系，武汉 %$’% ））（华中科技大学激光技术国家重点实验室，武汉 %$’% ） $ ）（湖北襄樊学院物理系，襄樊 %%!($ ）（年月日收到；年月日收到修改稿） $ % !! $ ) 研究了脉冲激光烧蚀靶材的整个过程从包含热源项的导热方程出发，利用适当的动态边界条件，详细研究了 * 靶材在熔融前后的温度分布规律，并且给出了熔融后的固、液分界面的变化规律熔融后的温度演化规律和固液相 * 界面均以解析表达式的形式给出还根据能量平衡原理给出烧蚀面位置随时间的变化规律以硅靶材为例计算模 * * 拟了激光烧蚀的整个过程，与实验结果符合较好* 关键词：脉冲激光，烧蚀面，熔融，温度演化：， !## (( ((+ ［］等现象强激光束照射靶材表面，靶材表面吸收激 * !A 引言光能量，使得其表面的温度急剧升高，当表面温度达到靶材的熔点时，将发生熔融现象；继续加热到靶材脉冲激光沉积（）是近年来发展起来的一种表面吸收的激光能量达到烧蚀潜热时，材料就从靶 BC- 新型薄膜制备技术，它具有薄膜沉积速率高、基片衬表面被蒸发出去，这就是激光对靶材