基于哈特曼-夏克波前传感器的波面拼接检测方法.pdfVIP

第 29卷 第 12期 光 学 学 报 Vo1．29，No．12 2009年 12月 ACTA OPTICA SINICA December，2009 文章编号：0253—2239(2009)123385—06 基于哈特曼～夏克波前传感器的波面拼接检测方法 郑翰清 饶长辉 饶学军 姜文汉 杨金生 (中国科学院光电技术研究所 自适应光学实验室 ，四川I成都 610209； 中国科学 院研究生 院，北京 100049) 摘要 提出了一种利用小 口径哈特曼一夏克(H—s)波前传感器检测大 口径光学系统或元件 的波面拼接检测方法 。 其基本原理是将待测大 口径波面划分为多个小 口径波面 ，通过最Jb~--乘法得到各个子波面斜率图相对于基准子波 面斜率 图的拼接参数 ，恢复出全孔径波面斜率 图，再利用模式法复原出待测波面 。建立 了全局优化拼接方式的数 学模 型 ，并进行实验验证 。实验采用一有效 口径 ≠37．5mm 的哈特曼 夏克波前传感器对一平面反射镜面 ~60mm 的区域进行测试 ，将拼接波面与利用干涉仪直接测量的全孔径波面对 比，其波面残差 (RMS)值为 0．04 ，拼接算法 精度达到a／40。结果表明，全局优化拼接检测方案能够用于大 口径光学表面 的检测 。 关键词 波面拼接检测 ；哈特曼一夏克波前传感器 ；全局优化 ；最小二乘拟合 中图分类号 0436 文献标识码 A doi：10．3788／AO3385 W avefrontStitchingDetectionM ethodBasedonHartmann-Shack W avefrontSensor ZhengHanqing·。 RaoChanghui RaoXuejun JiangWenhan YangJinsheng，。 LaboratoryonAdaptiveOptics，InstituteofOpticsandElectronics，ChineseAcademyofSciences， Chengd ，Sichuan 610029，China GraduateUniversityof ChineseAcademyofSciences，Beijing100049，China Abstract A methodforwavefrontstitchingdetection．inwhich smal1apertureHartmann—ShackwavefrontsensoriS usedto testlarge-apertureopticalsystem orcomponent，isproposed．Thebasicprincipleistodividelargewavefront intocertainsmallones；then，theslopedataintheoverlapregionsareusedinalinearleastsquaresfittingroutineto obtainstitchingparametersbetweeneach sub—frameandthebenchmarkframe．Theseparametersarethenusedto constructthewholegradientmap．which islaterusedtOreconstructthewholewavefrontbymodalalgorithm ．The mathematicalmodelofcomprehensivelyoptimizedstitchingmode isestablishedandverified inourexperiment．A H— Swavefrontsensorwithvalidaperture 37．5mm isadoptedtotestaplanereflectorS≠60mmareaandthesti