洁净室高效过滤器现场检漏方法的实验研究.pptVIP

潔淨室高效過濾器 現場檢漏方法的實驗研究 背景 製程環境潔淨度 HEPA性能及施工品質 驗證單位 提要 濾網檢測洩漏誤判 測洩漏方法的介紹 理論分析及實驗，提出適當檢漏方法 檢漏方法 微粒計數器 掃瞄對象為濾網斷面、框架 採樣口放置於濾網下方2~3cm處，以2cm/s移動 若有洩漏處則檢測微粒數會偏高 理論分析 弱射流 根據文獻指出HEPA之湍流系 數約為0.066，故一般送風口 之射流擴散角θ約為12.6度 此時於框架外緣很有可能有較 高之濃度，若依此判定洩漏並 不合理 α:經驗湍流係數 θ:射流擴散角 水平檔板 抑制捲入氣流 流線1氣流可能造成邊框誤判 但擋板大小、距離仍待確認 豎直圍擋 濾網氣流與環境氣流分隔 氣流死角需要稀釋 H:圍檔高度 L:濾網與邊框寬度 a:濾網邊框與邊框距離 b:濾網邊框寬度 θ:弱射角度 測試孔 採樣微粒數高，表示洩漏 通過測試孔流量銳減，高污染氣流也銳減 污染氣流稀釋有誤判可能 豎直擋板實驗研究 條件 送風靜壓箱:53cm*53cm 濾網斷面:48.4cm*48.4cm*22cm 濾網邊框與邊框距離a:2.3cm 濾網邊框寬度b:1.8cm 弱射角度θ:10 潔淨室等級:30萬 濾網平均風速:0.5m/s 採樣流量:2.83L/min 送風含塵濃度:0#/L 水平擋板實驗研究 使用水平擋板，其結果為0#/L 爲比對水平垂直間的差異，旁通釋放污染物 污染程度隨擋板尺寸變大而降低；隨風速提高而降低；隨濾網與擋板間距離減少而降低 結論 檢漏測試宜使用豎直檔板，避免捲入氣流影響 可考慮將乾淨空氣送至濾網與邊框間，排除滯留空氣，以提高清淨度與節省時間 使用水平擋板仍有很多問題待解決 使用測試孔測試非常不可取 END * * 安全可靠 有漏點 豎直擋板 誤判 誤判 濃度稀釋 無漏點 測試孔 水平擋板 *