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第 卷 分析化学 ( ) 研究快报 第 期
39 FENXIHUAXUE 3
年 月
2011 3 ChineseJournalofAnalticalChemistr ~
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췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍 DOI 10.3724SP.J.1096.2011.00000
췍 研 究 快 报 췍
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基于介电泳诱捕与阻抗测量的三维网格型生物传感器的研究
*1,2 1 1 1,2 1 1,2
许 静 赵 湛 方 震 刘泳宏 杜利东 耿道渠
1 ( , )
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室 北京 100190
2 ( , )
中国科学院研究生院 北京 100039
, 。 ,
摘 要 微粒分离与检测的集成 一直是微全分析系统亟待解决的难题 结合介电泳与生物阻抗谱测量 设
。
计了一种三维介电泳芯片 以SU8 胶为材料的绝缘夹层以及其上方和下方网格状交叉的电极阵列构成了芯
, 。
片的关键区域 且在 SU8 绝缘夹层中利用光刻技术形成了圆柱状小势阱 三维的网格状阵列结构及具有束
, , ,
缚电场功能的SU8 电介质 共同形成了其独特的电场极值分布 使得微粒诱捕电压降低的同时 更能将微粒
, 。 , 。
诱捕到 SU8 阱中 便于阻抗谱测量 三维电极结构解决了平面电极电场分散的难题 具有更高的灵敏度 更
, , 。
为重要的是同一电极的介电泳诱捕与阻抗谱测试的切换使用 降低了制作复杂度 并使测试更加快捷
关键词 介电泳; SU8 阱; 阻抗
1 引 言
、 , 、
降低成本 减少时间是医学临床诊断过程中所关心的重要问题之一 特别是对于分子 细胞水平的
, , 。
诊断 同样 也是其他领域微纳量级中性微粒检测非常关心的问题 以传感技术为基础发展起来的微型
检测系统使这一需求成为可能。
, ( ) [1~3]
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