温度对飞秒激光沉积ZnOSi薄膜的结构和性能的影响[J].pdfVIP

第 34 卷 　第 9 期 中　 国 　激 　光 Vol . 34 , No . 9 　 2007 年 9 月 C H IN ESE J OU RN AL O F L A SER S Sep t ember , 2007 　 　　文章编号 :(2007) 温度对飞秒激光沉积 ZnO /Si 薄膜的 结构和性能的影响 杨义发1 ,2 ,3 , 龙 　华1 ,2 , 杨 　光1 ,2 , 戴能利1 ,2 , 郑启光1 ,2 , 陆培祥1 ,2 1 2