Na掺杂量对ZnO薄膜AFM图像多重分形谱的影响.pdfVIP

第 29卷 第 5期 电 子 显 微 学 报 Vo1．29．No．5 2010年 10月 JournalofChineseElectronMicroscopySociety 2010．10 文章编号 ：1000—6281(2010)05-0415—05 Na掺杂量对 ZnO薄膜 AFM图像多重分形谱的影响 吕建国一，陈学梅 ，朱剑博 ，黄 凯 ，宋学萍 ，孙兆奇 (1．合肥师范学院物理与电子工程 系，安徽 合肥 230601；2．安徽大学物理与材料科学学院， 安徽 合肥 230039；3．安徽建筑工业学院数理系，安徽 合肥 230601) 摘 要 ：用溶胶 一凝胶法在 si(111)基片上制备 Na掺杂 ZnO薄膜 ，利用原子力显微镜 (AFM)观察薄膜 的表面形 貌，采用多重分形理论定量表征薄膜的AFM 图像。结果显示：随着Na含量的增加 ，薄膜平均颗粒尺寸逐渐增大， 表面 RMS粗糙度从7．4nm增大到44．4nlll，分形谱宽△ 从 0．059增大到0．200，说明薄膜表面高度分布不均匀程 度逐渐增大；所有样 品的af值均大