真空不良与荫罩“黑斑”之间关系的探讨.pdfVIP

2009年第51卷第1期 光电技术 ELECTRO-OPTICSTECHNOLOGY Vo1．51No．1，2009 真空不 良与荫罩 “黑斑’’之间关系的探讨 钱学东 (南京电子网板科技股份有限公司 210028) 摘要 在平板荫罩在生产过程中，会产生 “黑斑”现象，本文对真空度不 良与平板荫罩产生 “黑斑”之间的关系问题进行了 探讨，分析原因并提出防止 “黑斑”产生的措施。 关键词 荫罩 真空度 黑斑 一 、 引言 我们公司在生产北京松下 19英寸、21英寸 以 及咸阳彩虹 21英寸、25英寸产品时，荫罩上不时出 现 “黑斑”现象，严重影响了产品的质量。经过一段 时间的探索和试验，我们找到了产生 “黑斑”的主要 原因是由于曝光时真空不良引起的。 二 、原理 在分析 “黑斑”形成的原因之前，我们首先分析 一 下曝光设备的结构原理。曝光设备主要 由安装有 多个单元的曝光框架所构成(见图1)。 b 曝光框架的侧视图 图 1 曝光框架结构简图 单元曝光框架是 由一个外部支撑框架组成，外 部支撑框架里面安装 了两个磁框架 ，分别为前框架 和后框架 。外部支撑架安装在能调节的基座上 ，上 謇 H Il [二] a．曝光框架的主视图 4 光 电技术 第 51卷 作版之间的空间抽真空，外管道用一个大橡皮衬垫 图4 工作版排气槽图 与外界大气隔离开来 。这就是曝光框架最基本的 在制版过程中，定影后要对版子进行清洗 ，在清 结构。 洗膜面过程中，除有效面，撕边 口，对准标记和版面 上面简介曝光框架结构和曝光抽真空系统，下 号外，其余地方的膜要用刀片刮出排气槽 ，上保护膜 面分析一下曝光间形成 “黑斑”的机理 。 后，同样要在上述位置的刮掉多余保护膜形成排 一 个曝光周期包括钢带运行、关框架、抽真空、 气槽 。 曝光、曝光框架打开几个环节，其中抽真空对产生荫 涂有感光胶的钢带见图5，采用 的是竖直涂胶 ， 罩均匀性不良(包括 “黑斑”)有直接的影响。每个曝 涂胶 自上而下，厚度一般来讲有 3—4／tni左右的差 光框架有大小孔面，钢带从中间穿过，为了使工作版 别。钢带的底部 3—4mm地方在涂胶段 已用水冲洗 上的图形能准确地复制到涂有感光胶的钢带上就要 掉 (或减薄)。涂有感光胶的钢带 ，在曝光框架内抽 抽真空，在谈抽真空前，先简介工作版的情况，工作 真空曝光后形成荫罩图形，由于钢带本身的粗糙度 版制版工艺如下 ： 和涂胶过程涂胶一致性不太好 ，以及工作版有 图形 的一面(也就是通常称的膜面)，上面还有一层保护 I．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．_ J 1．．—-．．．．．--．—．．．．．．．．．．_J I l I l I 1 膜 ，这样工作版就象平凸透镜 。如果工作版上排气