表面极性对ZnMgO_ZnO异质结中二维电子气形成的影响.docVIP

  表面极性对 ZnMgO/ZnO 异质结中二维 电子气形成的影响# 李远洁，马博君* 5 10 15 20 25 30 35 40 （西安交通大学电子与信息工程学院，西安 710049） 摘要：利用射频磁控溅射法在 c 面（0001）蓝宝石单晶衬底上生长了 ZnMgO/ZnO 异质结结构， 通过对生长过程中射频功率及氧气流量的调控，获得了不同条件下的 ZnMgO/ZnO 异质结。室 温霍尔效应测试结果表明生长过程中氧气流量对 ZnMgO/ZnO 异质结导电性能影响较大，降低 生长过程中的氧气流量使 ZnMgO/ZnO 异质结导电性能由半绝缘性转变为半导体性能。此外， 射频功率对薄膜的光电性能影响不明显。ZnMgO/ZnO 异质结表面腐蚀研究结果表明本工作中 的 ZnMgO/ZnO 异质结均为氧极性面。ZnMgO/ZnO 异质结的霍尔效应测试结果表明载流子迁移 率没有明显的增加。ZnMgO/ZnO 异质结表面氧极性可能为导致界面处没有形成二维电子气的 原因。 关键词：氧化镁锌/氧化锌异质结；霍尔效应；表面极性；二维电子气 中图分类号：O471.5 Surface polarity effect on properties of two dimentional electron gas in ZnMgO/ZnO heterostructure LI Yuanjie, Ma