皮秒激光器在CIGS薄膜太阳能电池加工中的应用.pdfVIP

皮秒激光器在CIGS 薄膜太阳能电池加工中的应用  1 1 2 3 4 4 G. Račiukaitis , P. Gečys , J. Verseckas , A. Greičius , A. Rukšėnas , L Yang 1 激光技术部，物理科学院，维尔纽斯，LT-02300 ，立陶宛 2 Ekspla UAB, Savanoriu Ave. 231, 维尔纽斯, LT-02300, 立陶宛 3 ELAS UAB, Savanoriu Ave. 231, 维尔纽斯, LT-02300, 立陶宛; 4 Ekspla 上海代表处,上海市浦东新区黄杨路18 号，4#3008  邮编201206  1. 简介  近年来，皮秒激光器在各种材料的微加工中获得了越来越多的应用，特别是薄膜的成型和表面处 理中体现出了极其优越的性能。薄膜太阳能电池CuIn Ga Se 因成本低廉及R2R(Roll‐to‐roll)制程 x (1‐x) 2 中的可扩展性受到了越来越多的关注。同玻璃基底结构相比，CIGS 太阳能电池有更多的优势。特 别是功率重量比和抗辐射性能的优势使其在空间占用和高集成性能上远超传统的光伏产品。  通常情况下，为实现较大的工作区，薄膜太阳能电池片之间一般是通过串联方式连接在一起。所 以我们需要更好的减小光电流并降低电阻损耗，以获得更高的效率。  我们通过改变薄膜沉积和图案结构能直接获得集成的级联结构，这在当前的工艺中，是通过对膜 层的三次刻线完成的，即P1,P2,P3。这种对多层薄膜进行选择性刻划的现代太阳能电池拥有卓越 的性能，而激光加工的引入更为薄膜成型提供了极其方便和高效的工艺。  然而，因为材料的热效应特别敏感，CIGS 薄膜的激光加工工艺并不完全成熟。当前CIGS 薄膜的激 光加工都是基于刚性的玻璃基片。而基于诸如各种金属和高分子材料基底的CIGS 薄膜采用激光加 工仍然十分挑战。另外，即便是对于采用激光刻划的薄膜CIGS 光伏结构和光电效应研究，目前也 几乎没有人进行报道。  我们的目标是开发一种灵活，快速的CIGS 薄膜激光加工工艺，并且使之充分适应R2R 生产线。我 们提前对激光吸收，能量耦合机理，以及皮秒脉冲作用后薄膜结构的动态热量分布模型进行了模 拟和分析。接下来我们完成了在不同波长下的激光刻划质量评估，作用层元素分析，刻划区域光 电性能，转换效率以及并联阻抗测试的工作。    2. 工业级皮秒激光器  实验中采用Ekspla 生产的Atlantic DPSS 皮秒激光器。基频光(1064nm)功率为16W，具有高脉冲能 量(达160uJ)，高光束质量(M² 1.5)，高重复频率(达500kHz)，以及超短脉冲(10ps)的特点。同时 可选择具有智能脉冲控制532nm 及355nm 倍频模块。Atlantic 系列激光器结构紧凑，牢固，从设 计伊始就定位于各种工业材料的通用微加工应用。  光学元器件安装在牢固，精密的铝制外壳中，能够作为独立的模块直接应用于各种定制化方案。 严格封装的系统能长期稳定工作于生产制造环境。拥有解放双手的操控，优化的布局，PC 控制系 统，内置自诊断系统以及实时状态报告，Atlantic 提供了最大程度的可靠而简便的解决方案。另外， 高质量量的光束输出出能轻易的聚聚焦微小光斑斑到任意距离离，因此成为为各种材料的的微加工极其实用的选选 择。    图1.  Atlantic 激光器的Optical Head 部分  平均输输出功率和重重复频率的关关系可参考图图2。输出功功率与重复频频率的独立性性为各种材料料的高速加 工提供供了极强的灵灵活性。