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基于锥光全息法的非接触式测量中的方向滤波方法研究
任淑艳,张 琢,刘国栋,浦昭邦
(哈尔滨工业大学自动测试与控制系,黑龙江 哈尔滨 150001)
来源:光电子·激光
摘要:针对锥光全息式非接触测量系统测得的具有良好的方向性特征的图像上存在大量散斑
噪声的情况,对各种方向滤波方法进行了分析,提出了一种改进的平均曲率非线性扩散滤波
方法。该方法利用图像平面的曲率进行扩散滤波,可以更有效地保持图像边缘,同时引入的
线性变化因子大大加快了图像的滤波处理速度。实验证明,此算法能够很好地滤除噪声干扰,
并满足锥光全息系统的测量实时性要求。
关键词:锥光全息,散斑,平均曲率扩散,滤波
中图分类号:TN247 文献标识码:A 文章编号:1005-0086(2008)06-0790-05
1 引 言
光学非接触式测量以其无损伤、高分辨率、测量速度快、适用范围广等优点,被广泛
地用于复杂自由曲面的测量。相比之下,传统的机械接触式测量易划伤被测表面、磨损测头、
需要测头补偿、不能测量软质表面,测量速度也受到一定的限制,工作效率较低,更适合于
简单几何形状的物体。常见的光学非接触式测量方法,如基于三角法的激光扫描装置以及基
于结构光条纹投影法的视觉系统等,尽管精度相对于接触式测量要低,但其测量效率要远远
高于接触式测量。不过,基于三角法的激光扫描装置由于原理上的非线性,易受环境温度影
响,测量结果与被测表面的光泽、颜色、粗糙度以及倾斜角度等因素有关。视觉系统可在一
个很大的空间范围内同时获得这一区域内所有数据点的信息,但其精度较低,而且在测量较
高的深宽比的孔及凹陷区域的过程中会出现非常大的误差。因此,本文采用锥光全息原理实
现光学非接触式测量,该方法的测量精度高于视觉系统,与激光扫描装置相当,但测量速度
却大大优于激光扫描装署。但是干涉光束的振幅不均匀及激光散斑等严重影响干涉图形质
量,因此研究降低散斑噪声、提高干涉图像对比度的方法,是改善图像质量、提高测量精度
的关键。本文在分析各向异性扩散方程的基础上,根据图像平面的曲率进行扩散滤波,进而
提出了一个具有方向选择性的改进的各向异性扩散模型,该方法不仅可以更有效地进行保持
图像边缘,而且还能够得到良好的噪声滤除效果。
2 锥光全息测量系统
在传统的全息技术中,需要使用相干光源使来自物体的光束和参考光束发生干涉,产生
干涉图案,这种情况下,来自物体的光束与参考光束的传播速度相同,但传播的路径不同。
而在锥光全息技术中,利用晶体的双折射效应产生传播速度不同的两束光,进而发生干涉。
由于这种干涉利用了光线自身的相干性,因此这种方法在使用相干性较差的光源的情况下也
可产生全息图,从而实现对被测物的精确测量。Sirat 和Psaltis 于1985 年提出锥光全息技术,
测量系统的原理如图1 所示。从被测物表面一点S 返回的激光经过起偏器P1 变成偏振光,
经过单轴晶体 C 时,分裂成传播速度不同的寻常光和非寻常光。非寻常光的速度依赖于光
束的人射角。晶体的后面放入检偏器P2 ,与起偏器的方向正交,在Gabor zone lens 上得到
全息图,条纹强度表示为:
其中,k 是波数,I0 是人射光强,ZC 是点 S 到坐标原点的距离,即被测点的相对高度。r
是Cabor zone lens 上一点ρ距坐标原点的距离,可见条纹图上的各点的光强与被测距离ZC
以及所在环状条纹的半径r 有关。
上述测量系统所得到的图像上存在着大量噪声,其中,散斑噪声是由于激光光源的相
干性造成的一种乘性噪声。除此之外,影响条纹图像质量的还有检测表面的特性和环境的电
磁噪声,为了保证锥光全息测量系统的测量精度,抑制噪声是非常重要的工作。
3 噪声抑制的方向滤波技术分析
相干散斑噪声的抑制技术可分为两大类,即成像之前的光学处理技术和成像后的滤波
技术。光学处理技术以空间分辨率的降低为代价抑制相干散斑噪声。成像后的滤波技术可分
为空域和频域两种,但是这些滤波方法都是各向同性的,既平滑了噪声也模糊了边缘,而且
滤波效果与移动窗口大小密切相关,当窗口较大时,滤波器过渡平滑导致边缘模糊,窗口过
小时,滤波器的去噪能力变差。与此相比,方向滤波对于具有良好方向性的锥光全息系统的
测量图像的处理会得到更好的效果。
3.1 常见方向滤波方法比较
方向滤波的优点在于只允许特定方向上的频谱分量通过,可以突出图像的方向特征。
虽然常用的滤波方法在低噪声下有不错的效果,但当噪声比较严重、条纹质量较差的情况下
就会失去作用。主要原因在于它们没能充分利用条纹图
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