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离子束溅射镀膜机电源的研制 邹春艳，罗宏洋，杨建生 （中国电子科技集团公司电子第48研究所，长沙市410111） 摘要：本文介绍了离子束溅射镀膜机电源的设计方案，并着重阐述了短路保护电路、自动恢复电路和线性光电隔离电路的设计。测试结果表明：该电源能满足离子束溅射镀膜机设备的要求，现场运行稳定可靠。 关键词：离子束溅射镀膜；短路保护；自动恢复；线性光电隔离 前言 离子束溅射镀膜是根据溅射原理利用低能量聚焦离子束对靶材表面进行轰击，溅射的靶材淀积到衬底表面并牢固地附着在衬底上，是半导体工艺中薄膜制备的重要方式之一，主要用于制备金属、半导体、绝缘体的单质、合金和化合物薄膜。 在该方法中，决定薄膜层生成质量和速度的重要因素之一是施加在金属表面的电场特性，而电场特性是由配套电源的性能和工作方式决定的。离子束溅射镀膜机的工作特性（如频繁短路去掉腔体毛刺等）需要其配套电源能承受频繁短路冲击，并在短路现象消除之后能自动恢复。鉴于以往打火易造成电源的不可恢复性损坏，专门研制了一种新型的离子束溅射镀膜机电源。 电源技术要求 1．直流稳压电源 0～2000V，0～500mA；0～500V，0～500mA；0～100V，0～10A；直流稳流电源 0～25V，0～30A； 2．稳定度≤0.2%； 3．纹波≤0.2%（直流稳压电源）； 4．具有过流、过压保护功能,过流保护启动时间＜1ms；能承受频繁短路冲击和短期短路，短路消除后能自动恢复稳压输出； 5．能设定输出限流值，输出电流超过设定值时，输出电压自动下降； 6．具有计算机监控接口,实现计算机的监控,同时具有手动调节、设定功能。 7．输入与输出隔离，隔离电压大于3kV。 三、 电源系统构成 离子束溅射镀膜机采用的是卡弗曼型离子源，其工作原理是利用阴极灯丝发射热电子，在阳极电场和磁场的作用下与送入离子源内的工作气体发生碰撞，在离子源内形成等离子体，利用屏栅和加速栅组成的引出电极将离子引出形成离子束。离子源供电系统就是离子束溅射镀膜机电源。其结构和供电系统接线示意图如下： 图1 离子源电源接线原理图 由于引出电极是多孔极板，间距很小，且为特种材料，其孔内毛刺很难去除干净，工作时将会由于尖端放电而短路，因而要求其配套电源能承受频繁的短路冲击。另外，部分电源输出悬浮在屏栅电源（2000V/500mA）上，因而需将其输出隔离。 根据离子束溅射镀膜机上述工作特性，并考虑以往电源易打火损坏的情况，因此选用性能安全可靠且体积重量小的开关电源是本设计的基本出发点。考虑到离子束溅射镀膜机电源的高可靠性，能经受频繁短路冲击，方案里特设计了过流保护电路、自动恢复电路以及隔离电路。 该电源装置由输入整流滤波电路、变换电路、输出电路、控制及保护电路、隔离电路等组成。考虑到离子束溅射镀膜电源的功率最高为1000W，因而采用半桥式变换器电路，功率开关晶体管采用速度较快且相对IGBT模块更为经济的MOSFET场效应管；控制方式采用脉宽调制方式（PWM）；隔离方式则采用将输出电路、采样电路与输入电路进行光电隔离的方式。另外控制电路还包含了手动和计算机监控切换电路，能实现计算机调节。 图2为电源原理图，市电220V单相交流电经过整流滤波电路，变成含有一定脉动成分的直流高压，然后进入高频变换电路，变换电路在控制脉冲作用下，将脉动直流电压斩波成高频方波，最后再将这个高频电压经过变压器及整流滤波得到所需要的直流电压。 图2 电路原理图 四、保护、隔离电路设计 根据离子束溅射镀膜机的工作特点，过流（或短路）保护、自动恢复和输出采样部分与输入隔离是本电源设计的重点。 过流（或短路）保护及自动恢复电路 当开关电源输出电流超过额定值或负载出现短路时，能保护电源本身不受破坏的一种电路称为过流保护电路。本电源设计的保护电路如图3。 图3 保护电路 过流保护时，芯片CD4078输出为低电平，CD4041输出为高电平，V1，V2导通，V3截止，SG3525的10脚为高电平，脉宽输出关闭，变换电路无脉冲输出，因而电压输出为零，起到过流保护的作用。一旦过流或短路消除之后，CD4078输出为高电平，电容C充电完毕，CD4041输出为低电平，SG3525的10脚为低电平，11脚和14脚输出脉冲，电源输出恢复正常。电容C充电的时间就是过流保护启动时间，由R、C的乘积来决定。 线性光电隔离电路 传统的隔离方式是采用将整个电路隔离，不仅结构复杂，体积庞大，而且电源易被损坏，不能自动恢复。操作面板的电位器旋钮也遭受破坏，使人的安全受到一定的威胁。而本电源采用的部分隔离方式则完全可以解决上述问题。 本电源采用的隔离