SEM工作距离和加速电压对图像分辨率的影响.pdfVIP

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! 二 ! 实 验 技 术 与 管 理 第 28卷 第 9期 2011年 9月 CN11—2034/T ExperimentalTechnologyandM anagement Vo1.28 No.9 Sep.2011 SEM工作距离和加速 电压对图像分辨率的影响 严 红 ,沈一骑。 (1.南京市锅炉压力容器检验研 究院,江苏 南京 210002 2.南京大学 电子科学与工程学院,江苏 南京 210093) 摘 要 :实验证明大工作距离和低加速 电压会使 SEM 较高放大倍数 的图像清晰度下降。理论研究表 明, SEM 图像分辨率主要取决于电子束斑和信噪比的大小,大工作距离会使 电子束斑增大 ;低加速 电压会使 电子 枪亮度下降、电子束流和信噪比减小 ,从而造成图像分辨率和图像清晰度下降。对于传统 SEM,通过减小物 镜光 阑(电子枪栅极、阳极 问距),可对大工作距离 (低加速 电压)时图像清晰度 的提高有一定帮助 ,但要从根 本上解决 ,必须采用场发射 电子枪 。 关键词 :扫描电镜 ;工作距离 ;加速 电压 ;图像分辨率 中图分类号 :TN16 文献标志码 :B 文章编号 :1002—4956(2011)09—0044—02 Influencesofdifferentworkdistancesandacceleration voltagesofSEM onimageresolution Yan Hong ,ShenYiqi。 (1.NanjingBoiler8LPressureVesselSupervisionangInspectionInstitute.Nanjing210002.China; 2.CollegeofElectronicScienceandEngineering,NanjingUniversity,Nanjing210093,China) Abstract:Theexperimentresultsshow thatalargeworkdistanceandlow accelerationvoltagecandecreasethe SEM imagedefinitionathighermagnification.Theoretically,theSEM imageresolutionmainlydependsonthe electronbeam diameterandtheSNR value.Largeworkdistancewillincreasetheelectronbeam diameterand low accelerationvoltagewilldecreasetheelectrongunbrightnessandSNR value.Accordingly,thetWOaspects causetheimageresolutionanddefinitiontodecrease.FortraditionalSEM ,theapplicationofthefieldemission electrongunisthefundamentalsolutiontoimprovetheimagedefinition,althoughthereductionoftheobject 1ensapertureandthespacingbetweengridandanodeoftheelectronguncanplayapositiverole. Keywords:SEM ;workdistance;accelerationvoltage;imageresolution 扫描电子显微镜 (SEM)作为一种现代分析仪器 , 据 ,期望能对 SEM

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