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! 二 ! 实 验 技 术 与 管 理 第 28卷 第 9期 2011年 9月
CN11—2034/T ExperimentalTechnologyandM anagement Vo1.28 No.9 Sep.2011
SEM工作距离和加速 电压对图像分辨率的影响
严 红 ,沈一骑。
(1.南京市锅炉压力容器检验研 究院,江苏 南京 210002
2.南京大学 电子科学与工程学院,江苏 南京 210093)
摘 要 :实验证明大工作距离和低加速 电压会使 SEM 较高放大倍数 的图像清晰度下降。理论研究表 明,
SEM 图像分辨率主要取决于电子束斑和信噪比的大小,大工作距离会使 电子束斑增大 ;低加速 电压会使 电子
枪亮度下降、电子束流和信噪比减小 ,从而造成图像分辨率和图像清晰度下降。对于传统 SEM,通过减小物
镜光 阑(电子枪栅极、阳极 问距),可对大工作距离 (低加速 电压)时图像清晰度 的提高有一定帮助 ,但要从根
本上解决 ,必须采用场发射 电子枪 。
关键词 :扫描电镜 ;工作距离 ;加速 电压 ;图像分辨率
中图分类号 :TN16 文献标志码 :B 文章编号 :1002—4956(2011)09—0044—02
Influencesofdifferentworkdistancesandacceleration
voltagesofSEM onimageresolution
Yan Hong ,ShenYiqi。
(1.NanjingBoiler8LPressureVesselSupervisionangInspectionInstitute.Nanjing210002.China;
2.CollegeofElectronicScienceandEngineering,NanjingUniversity,Nanjing210093,China)
Abstract:Theexperimentresultsshow thatalargeworkdistanceandlow accelerationvoltagecandecreasethe
SEM imagedefinitionathighermagnification.Theoretically,theSEM imageresolutionmainlydependsonthe
electronbeam diameterandtheSNR value.Largeworkdistancewillincreasetheelectronbeam diameterand
low accelerationvoltagewilldecreasetheelectrongunbrightnessandSNR value.Accordingly,thetWOaspects
causetheimageresolutionanddefinitiontodecrease.FortraditionalSEM ,theapplicationofthefieldemission
electrongunisthefundamentalsolutiontoimprovetheimagedefinition,althoughthereductionoftheobject
1ensapertureandthespacingbetweengridandanodeoftheelectronguncanplayapositiverole.
Keywords:SEM ;workdistance;accelerationvoltage;imageresolution
扫描电子显微镜 (SEM)作为一种现代分析仪器 , 据 ,期望能对 SEM
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