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- 2017-09-13 发布于湖北
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第29卷 第 1期 真 空 科 学 与 技 术 学 报
2009年 1、2月 CHINESEJOURNALOFVACUUM SCIENCEANDTECHNOLOGY 61
ICP—CVD制备氟化非晶碳 (a—C：F)薄膜的研究
谷建东 ， 李东明 冯志庆 牛金海 刘东平
(1．大连民族学院 光电子技术研究所 大连 116605；2．大连交通大学 机械工程学院 大连 116028)
GrowthandCharacterizationofAmorphousFluorinatedCarbon
FilmsbyInductivelyCoupledPlasmaChemicalVaporDeposition
GuJiandong，一，LiDongming~，FengZhiqing，NiuJinhai，LiuDongping
(1．InstituteofOptoelectronicTechnology，DalianNationalitiesUniversity，D
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